FZ CZ Si oblea stockean 12 hazbeteko siliziozko oblea Lehen edo Probatu
Oblea-kutxaren aurkezpena
Oblea leunduak
Siliziozko obleak, bi aldeetatik bereziki leunduak, ispilu-gainazala lortzeko. Garbitasuna eta lautasuna bezalako ezaugarri bikainak dira oblea honen ezaugarririk onenak definitzen dituztenak.
Dopatu gabeko siliziozko obleak
Siliziozko obleak intrintseko gisa ere ezagutzen dira. Erdieroale hau silizio kristalino purua da, oblean zehar dopanterik gabe, eta, beraz, erdieroale ideal eta perfektua bihurtzen du.
Siliziozko obleak dopatuak
N motako eta P motako siliziozko obleak dopatu motak dira.
N motako siliziozko obleak dopatuek artsenikoa edo fosforoa daukate. Oso erabilia da CMOS gailu aurreratuen fabrikazioan.
Boroz dopatutako P motako siliziozko obleak. Gehienbat zirkuitu inprimatuak edo fotolitografia egiteko erabiltzen da.
Obleak epitaxialak
Oblea epitaxialak gainazalaren osotasuna lortzeko erabiltzen diren ohiko obleak dira. Oblea epitaxialak oblea lodi eta meheetan daude eskuragarri.
Geruza anitzeko epitaxial obleak eta epitaxial oblea lodiak ere erabiltzen dira gailuen energia-kontsumoa eta potentzia-kontrola erregulatzeko.
Oblea epitaxial meheak normalean MOS instrumentu hobeagoetan erabiltzen dira.
SOI obleak
Oblea hauek siliziozko kristal bakarreko geruza finak siliziozko oblea osotik elektrikoki isolatzeko erabiltzen dira. SOI obleak siliziozko fotonikan eta errendimendu handiko RF aplikazioetan erabiltzen dira normalean. SOI obleak mikrogailu elektronikoetako gailu parasitoen kapazitantzia murrizteko ere erabiltzen dira, eta horrek errendimendua hobetzen laguntzen du.
Zergatik da zaila oblea fabrikatzea?
12 hazbeteko siliziozko obleak oso zailak dira mozten, errendimenduari dagokionez. Silizioa gogorra den arren, hauskorra ere bada. Eremu zakarrak sortzen dira oblea zerratuen ertzak hausteko joera dutenean. Diamantezko diskoak erabiltzen dira oblearen ertzak leuntzeko eta kalteak kentzeko. Moztu ondoren, obleak erraz hausten dira, ertz zorrotzak dituztelako. Oblearen ertzak ertz hauskor eta zorrotzak ezabatzeko eta irristatzeko aukera murrizteko moduan diseinatzen dira. Ertzak eratzeko eragiketaren ondorioz, oblearen diametroa doitzen da, oblea biribildu egiten da (moztu ondoren, moztutako oblea obalatua da), eta koska edo plano orientatuak egiten edo neurtzen dira.
Diagrama zehatza


