6 hazbeteko N motako edo P motako siliziozko oblea CZ Si oblea
Oblea-kutxaren aurkezpena
Siliziozko oblearen zehaztapenak:
6 hazbeteko siliziozko oblearen hazkuntza: CZ, MCZ, FZ.
6 Siliziozko oblea Kalifikazioa: Lehen mailakoa, Proba, Faltsua, etab.
6 hazbeteko siliziozko oblearen diametroa: 6 hazbete / 150 mm.
6 hazbeteko siliziozko oblearen lodiera: 200~ 3000um.
6 hazbeteko siliziozko oblearen akabera: moztua, lapatua, grabatua, SSP, DSP, etab.
6 hazbeteko siliziozko oblearen orientazioa: (100) (111) (110) (531) (553) etab.
6 hazbeteko siliziozko oblea. Mozketa: 4 gradu arte.
6 hazbeteko siliziozko oblea Mota/Dopantea: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Berezko.
6 hazbeteko siliziozko oblearen erresistentzia: CZ/MCZ: 0,001etik 1000 ohm-cm-ra. FZ: 20k ohm-cm-ra arte.
6 hazbeteko siliziozko obleazko film meheak: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. etab., 20.000A/% 5 arteko estaldura-lodierak.
(b) LPCVD/PECVD: Oxidoa, nitruroa, siC, etab., 200.000A/%3 arteko estaldura-lodierak.
(c) Siliziozko epitaxial obleak eta epitaxial zerbitzuak (SOS, GaN, GOI, etab.).
6 hazbeteko siliziozko oblea Prozesuak: a.DSP, ultra mehea, ultra laua, etab.
b. Tamaina txikitzea, atzerantz ehotzea, dadoetan moztea, etab. c. MEMSak.
2010az geroztik, Shanghai XKH Material Tech. Co.,Ltd-ek bezeroei 4 hazbeteko silikonozko obleten irtenbide integralak eskaintzeko konpromisoa hartu du, arazketa mailako obleta faltsuetatik hasi eta proba mailako obleta test obletaraino, produktu mailako obleta nagusietaraino, baita obleta bereziak, oxido obleak, Si3N4 nitruro obleak, aluminiozko obleak, kobrezko siliziozko obleak, SOI obleak, MEMS beira, obleta ultra-lodi eta ultra-lauak pertsonalizatuak, etab., 50 mm-tik 300 mm-ra bitarteko tamainekin, eta erdieroaleen obleak alde bakarreko/bi aldeetako leuntzea, mehetzea, zatitzea, MEMS eta bestelako prozesatzeko eta pertsonalizazio zerbitzuekin eskain ditzakegu.
Diagrama zehatza


