150mm 200mm 6inch 8inch GaN Silizio epi-geruzako oblean Galio nitruroa epitaxial ostia
Fabrikazio metodoa
Fabrikazio-prozesuak GaN geruzak hazten ditu zafiro-substratu batean, teknika aurreratuak erabiliz, hala nola metal-organiko kimiko lurrun-deposizioa (MOCVD) edo habe molekularra epitaxia (MBE). Deposizio-prozesua baldintza kontrolatuetan egiten da, kristalen kalitate handia eta film uniformea bermatzeko.
6 hazbeteko GaN-On-Sapphire aplikazioak: 6 hazbeteko zafiroaren substratu txipak oso erabiliak dira mikrouhinen komunikazioetan, radar sistemetan, haririk gabeko teknologian eta optoelektronikan.
Aplikazio arrunt batzuk besteak beste
1. Rf potentzia-anplifikadorea
2. LED argiztapenaren industria
3. Haririk gabeko sareko komunikazio ekipoak
4. Gailu elektronikoak tenperatura altuko ingurunean
5. Gailu optoelektronikoak
Produktuaren zehaztapenak
- Tamaina: substratuaren diametroa 6 hazbetekoa da (150 mm inguru).
- Gainazalaren kalitatea: gainazala fin-fin leundu da ispiluaren kalitate bikaina emateko.
- Lodiera: GaN geruzaren lodiera baldintza zehatzen arabera pertsonalizatu daiteke.
- Enbalajea: substratua arretaz josia dago material antiestatikoz garraiatzeko garaian kalteak saihesteko.
- Posizionatzeko ertzak: substratuak kokapen-ertz espezifikoak ditu, gailua prestatzerakoan lerrokatzea eta funtzionamendua errazten dutenak.
- Beste parametro batzuk: argaltasuna, erresistentzia eta dopin-kontzentrazioa bezalako parametro espezifikoak egokitu daitezke bezeroen eskakizunen arabera.
Materialen propietate bikainak eta aplikazio anitzak dituztenez, 6 hazbeteko zafiroaren substratu obleak aukera fidagarriak dira hainbat industriatan errendimendu handiko gailu erdieroaleak garatzeko.
Substratua | 6” 1mm <111> p motako Si | 6” 1mm <111> p motako Si |
Epi ThickAbg | ~5um | ~7um |
Epi ThickUnif | <%2 | <%2 |
Arkua | +/-45um | +/-45um |
Pitzadura | <5 mm | <5 mm |
BV bertikala | > 1000V | > 1400V |
HEMT Al% | %25-35 | %25-35 |
HEMT lodi bataz | 20-30 nm | 20-30 nm |
Insitu SiN Cap | 5-60 nm | 5-60 nm |
2DEG konk. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
Mugikortasuna | ~2000 cm2/Vs (% <2) | ~2000 cm2/Vs (% <2) |
Rsh | <330ohm/sq (<2%) | <330ohm/sq (<2%) |