Ultra-zehaztasuneko SiC aire-errodamenduko etapa

Ultra-zehaztasuneko SiC aire-errodamendudun etapa nabarmendutako irudia

Deskribapen laburra:

Erdieroaleen industriaren etengabeko bilakaerarekin, prozesatzeko eta ikuskatzeko ekipoek gero eta errendimendu handiagoa eskatzen dute. Mugimendu-kontrolean eta nanometro-mailako kokapenean esperientzia zabala oinarri hartuta, H motako bi ardatzeko aire-errodamendu ultra-zehaztasuneko etapa planar bat garatu dugu.

Bidali mezu elektroniko bat guregana

Ezaugarriak

Diagrama zehatza

Orokorra

Elementu finituen bidez optimizatutako silizio karburozko (SiC) zeramikazko egitura batekin eta konpentsatutako aire-errodamenduen teknologiarekin diseinatuta, etapak zehaztasun, zurruntasun eta erantzun dinamiko bikainak eskaintzen ditu. Ezin hobea da honetarako:

Erdieroaleen prozesamendua eta ikuskapena
Mikro/nano fabrikazioa eta metrologia
Nanometro eskalako euli-ebaketa eta leuntzea
Abiadura handiko eskaneatzea zehaztasunez

Ezaugarri nagusiak

SiC airezko errodamendu-gidazurruntasun eta zehaztasun ultra-handirako
Dinamika handia1 m/s-ko abiadura, 4 g-ko azelerazioa, finkatze azkarra
Bikoitzeko gantry Y ardatzakarga-ahalmen handia eta egonkortasuna bermatzen ditu
Kodetzailearen aukeraksare optikoa edo laser interferometroa
Kokapenaren zehaztasuna±0,15 μm;errepikagarritasuna±75 nm
Kableen bideratze optimizatuadiseinu garbi eta epe luzerako fidagarritasunerako
Konfigurazio pertsonalizagarriakaplikazio espezifikoen beharretarako

Ultra-zehaztasuneko diseinua eta zuzeneko trakzioko arkitektura, kontakturik gabekoa

SiC zeramikazko markoaAluminiozko aleazioaren ~5x zurruntasuna eta ~5x hedapen termiko txikiagoa, abiadura handiko egonkortasuna eta sendotasun termikoa bermatuz.
Aire-errodamendu konpentsatuaDiseinu jabedunak zurruntasuna, karga-ahalmena eta mugimendu-egonkortasuna hobetzen ditu.
Errendimendu dinamikoa1 m/s-ko abiadura eta 4 g-ko azelerazioa onartzen ditu, errendimendu handiko prozesuetarako aproposa.
Integrazio ezin hobeaBibrazio-isolamendu sistemekin, biraketa-eszenatokiekin, inklinazio-moduluekin eta oblea maneiatzeko plataformekin bateragarria.
Kableen kudeaketa: Kontrolatutako tolestura-erradioak tentsioa minimizatzen du zerbitzu-bizitza luzatzeko.

Motor lineal nukleorik gabeaMugimendu leuna, inolako marruskadura-indarrik gabe.
Motor anitzeko unitateaMotorraren karga-planoaren kokapenak zuzentasuna, lautasuna eta angelu-zehaztasuna hobetzen ditu.
Isolamendu termikoaMotorrak eszenatokiko egituratik isolatuta daude; aukerako airez edo urez hoztea ziklo handikoetarako.

Zehaztapenak

Modeloa	400-400	500-500	600-600
Aizkorak	X (eskaneatzea) / Y (urratsa)	X (eskaneatzea) / Y (urratsa)	X (eskaneatzea) / Y (urratsa)
Bidaia (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Zehaztasuna (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Errepikagarritasuna (nm)	±75	±100	±100
Bereizmena (nm)	0,3	0,3	0,3
Abiadura maximoa (m/s)	1	1	1
Azelerazioa (g)	4	4	4
Zuzentasuna (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Egonkortasuna (nm)	±5	±5	±5
Gehienezko karga (kg)	20	20	20
Inklinazioa/Biraketa/Biraketa (arku-seg)	±1	±1	±1

Proba Baldintzak:

Aire-hornidura: garbia eta lehorra; ihintz-puntua ≤ 0°F; partikula-iragazketa ≤ 0,25 μm; edo % 99,99 nitrogenoa.
Zehaztasuna eszenatokiaren erdigunetik 25 mm-ra neurtuta, 20±1 °C-tan eta %40–60ko hezetasun-eremuan.

Aplikazioak

Erdieroaleen litografia, ikuskapena eta obleen manipulazioa
Mikro/nano fabrikazioa eta metrologia zehatza
Goi-mailako optika fabrikazioa eta interferometria
Aeroespaziala eta ikerketa zientifiko aurreratua

Maiz egiten diren galderak – Siliziozko karburozko aire-errodamenduko etapa

1. Zer da aireztapen-etapa bat?

Aire-errodamenduko eszenatoki batek presiopeko aire-geruza mehe bat erabiltzen du eszenatokiaren eta gida-bidearen artean,marruskadurarik gabeko, higadurarik gabeko eta mugimendu ultra-leunaOhiko errodamendu mekanikoek ez bezala, itsaspen-irristaketa ezabatzen du, nanometro mailako zehaztasuna eskaintzen du eta epe luzerako fidagarritasuna onartzen du.

2. Zergatik erabili silizio karburoa (SiC) eszenatokiaren egiturarako?

Zurruntasun handiaAluminiozko aleazioarena baino ~5× handiagoa, mugimendu dinamikoan deformazioa minimizatuz.
Hedapen termiko baxuaAluminioa baino ~5× txikiagoa, zehaztasuna mantenduz tenperatura aldaketen pean.
ArinaAltzairuarekin alderatuta dentsitate txikiagoa, abiadura eta azelerazio handiko funtzionamendua ahalbidetuz.
Egonkortasun bikainaKokapen ultra-zehatza lortzeko moteltze eta zurruntasun handiagoa.

3. Eszenatokiak lubrifikaziorik edo mantentze-lanik behar al du?

Ez da lubrifikazio tradizionalik behar, badagoelakokontaktu mekanikorik ezGomendatutako mantentze-lanak honako hauek dira:

Hornitzeaaire konprimitu edo nitrogeno garbi eta lehorra
Iragazkien eta lehorgailuen aldizkako ikuskapena
Kableak eta hozte-sistemak monitorizatzea

4. Zeintzuk dira aire horniduraren beharrak?

Ihintz-puntua: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Partikula-iragazketa: ≤ 0,25 μm
Aire garbi eta lehorra edo % 99,99ko nitrogeno purua
Presio egonkorra gorabehera minimoekin

Guri buruz

XKH beira optiko berezien eta kristal material berrien garapen, ekoizpen eta salmenta teknologiko aurreratuan espezializatuta dago. Gure produktuak elektronika optikorako, kontsumo elektronikarako eta armadarako balio dute. Zafiro osagai optikoak, telefono mugikorren lenteen estalkiak, zeramika, LT, silizio karburo SIC, kuartzoa eta erdieroale kristalezko obleak eskaintzen ditugu. Esperientzia trebea eta punta-puntako ekipamendua ditugunez, produktu ez-estandarren prozesamenduan nabarmentzen gara, optoelektroniko materialetan goi-mailako teknologiako enpresa liderra izateko helburuarekin.