Ti/Cu metalez estalitako siliziozko oblea (titanioa/kobrea)

Deskribapen laburra:

GureTi/Cu metalezko siliziozko obleakKalitate handiko siliziozko (edo aukerako beira/kuartzozko) substratu batez estalitakotitaniozko itsaspen geruzaeta batkobrezko eroale geruzaerabilizmagnetron sputtering estandarraTi tarteko geruzak nabarmen hobetzen ditu atxikimendua eta prozesuaren egonkortasuna, eta Cu gaineko geruzak, berriz, erresistentzia baxuko gainazal uniformea eskaintzen du, interfazea elektrikorako eta ondorengo mikrofabrikaziorako aproposa.

Bidali mezu elektroniko bat guregana

Ezaugarriak

Diagrama zehatza

Ti/Cu Metalez Estalitako Siliziozko Oblea (Titanioa/Kobrea)6

Orokorra

Ikerketa eta pilotu-eskalako aplikazioetarako diseinatuta, oblea hauek hainbat tamaina eta erresistentzia-tartetan daude eskuragarri, lodiera, substratu mota eta estalduraren konfiguraziorako pertsonalizazio malguarekin.

Ezaugarri nagusiak

Itsaspen eta fidagarritasun sendoaTi lotura-geruzak Si/SiO₂-ri atxikimendu handiagoa ematen dio filmari eta maneiatzeko sendotasuna hobetzen du.
Eroankortasun handiko gainazalaCu estaldurak errendimendu elektriko bikaina eskaintzen die kontaktuei eta proba-egiturei
Pertsonalizazio aukera zabala: oblearen tamaina, erresistentzia, orientazioa, substratuaren lodiera eta filmaren lodiera eskuragarri eskaeraren arabera
Prozesatzeko prest dauden substratuaklaborategiko eta fabrikako lan-fluxu arruntekin bateragarria (litografia, galvanizazio-geruza, metrologia, etab.)
Eskuragarri dauden material serieakTi/Cu-z gain, Au, Pt, Al, Ni, Ag metalezko estaldura duten obleak ere eskaintzen ditugu

Egitura eta deposizio tipikoak

PilaSubstratua + Ti atxikidura geruza + Cu estaldura geruza
Prozesu estandarraMagnetron ihinztadura
Aukerako prozesuakLurruntze termikoa / Galvanizazioa (Cu lodiagoa behar denetarako)

Kuartzozko beiraren propietate mekanikoak

Elementua	Aukerak
Oblearen tamaina	2", 4", 6", 8"; 10×10 mm; neurrira egindako dadoak
Eroankortasun mota	P motakoa / N motakoa / Berezko erresistentzia handikoa (Un)
Orientazioa	<100>, <111>, etab.
Erresistentzia	<0,0015 Ω·cm; 1–10 Ω·cm; >1000–10000 Ω·cm
Lodiera (µm)	2": 200/280/400/500; 4": 450/500/525; 6": 625/650/675; 8": 650/700/725/775; pertsonalizatua
Substratu materialak	Silizioa; aukerako kuartzoa, BF33 beira, etab.
Filmaren lodiera	10 nm / 50 nm / 100 nm / 150 nm / 300 nm / 500 nm / 1 µm (pertsonalizagarria)
Metalezko film aukerak	Ti/Cu; Au, Pt, Al, Ni, Ag ere eskuragarri

Ti/Cu Metalez Estalitako Siliziozko Oblea (Titanioa/Kobrea)4

Aplikazioak

Kontaktu ohmikoa eta substratu eroaleakgailuen I+G eta proba elektrikoetarako
Elektroplaziorako hazi geruzak(RDL, MEMS egiturak, Cu metaketa lodia)
Sol-gel eta nanomaterialen hazkuntza-substratuaknano eta film meheen ikerketarako
Mikroskopia eta gainazaleko metrologia(SEM/AFM/SPM laginen prestaketa eta neurketa)
Gainazal biokimikoakhala nola zelula-kultura plataformak, proteina/DNA mikroarrayak eta erreflektometria substratuak

Ohiko galderak (Ti/Cu metalez estalitako siliziozko obleak)

1. galdera: Zergatik erabiltzen da Ti geruza bat Cu estalduraren azpian?
A: Titanioak honela funtzionatzen duitsaspen geruza (lotura), kobrearen substratuari atxikimendua hobetuz eta interfazearen egonkortasuna handituz, eta horrek manipulazioan eta prozesamenduan zuritzea edo delaminazioa murrizten laguntzen du.

2. galdera: Zein da Ti/Cu lodieraren konfigurazio tipikoa?
A: Konbinazio ohikoenak hauek dira:Ti: hamarnaka nm (adibidez, 10–50 nm)etaCu: 50–300 nmihinztatutako filmen kasuan. Cu geruza lodiagoak (µm-mailakoak) askotan lortzen diragalvanizazio bidezko Cu hazi geruza batean, zure aplikazioaren arabera.

3.G: Oblearen bi aldeak estali ditzakezu?
A: Bai.Alde bakarreko edo bi aldeetako estalduraeskaera eginez gero eskuragarri dago. Mesedez, zehaztu zure eskakizuna eskatzerakoan.

Guri buruz

XKH beira optiko berezien eta kristal material berrien garapen, ekoizpen eta salmenta teknologiko aurreratuan espezializatuta dago. Gure produktuak elektronika optikorako, kontsumo elektronikarako eta armadarako balio dute. Zafiro osagai optikoak, telefono mugikorren lenteen estalkiak, zeramika, LT, silizio karburo SIC, kuartzoa eta erdieroale kristalezko obleak eskaintzen ditugu. Esperientzia trebea eta punta-puntako ekipamendua ditugunez, produktu ez-estandarren prozesamenduan nabarmentzen gara, optoelektroniko materialetan goi-mailako teknologiako enpresa liderra izateko helburuarekin.