SOI oblea isolatzailea siliziozko 8 hazbeteko eta 6 hazbeteko SOI (Silicon-On-Insulator) obleetan
Oblea-kutxaren aurkezpena
Goiko silizio geruza batez, oxido geruza isolatzaile batez eta beheko silizio substratu batez osatuta, hiru geruzako SOI obleak abantaila paregabeak eskaintzen ditu mikroelektronikan eta RF domeinuetan. Kalitate handiko silizio kristalinoz osatutako goiko silizio geruzak osagai elektroniko konplexuen integrazioa errazten du zehaztasunez eta eraginkortasunez. Kapazitantzia parasitoak minimizatzeko arretaz diseinatutako oxido geruza isolatzaileak gailuaren errendimendua hobetzen du nahi gabeko interferentzia elektrikoak arinduz. Beheko silizio substratuak euskarri mekanikoa eskaintzen du eta silizio prozesatzeko teknologiekin bateragarritasuna bermatzen du.
Mikroelektronikan, SOI obleak abiadura, energia-eraginkortasun eta fidagarritasun handiagoa duten zirkuitu integratu (IC) aurreratuen fabrikaziorako oinarri gisa balio du. Bere hiru geruzako arkitekturak CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor) ICak, MEMSak (Micro-Electro-Mechanical Systems) eta energia-gailuak bezalako erdieroale-gailu konplexuak garatzea ahalbidetzen du.
RF arloan, SOI obleak errendimendu bikaina erakusten du RF gailu eta sistemen diseinuan eta inplementazioan. Bere kapazitantzia parasito baxuak, matxura-tentsio altuak eta isolamendu-propietate bikainak substratu aproposa bihurtzen dute RF etengailu, anplifikadore, iragazki eta beste RF osagai batzuetarako. Gainera, SOI obleak duen erradiazio-tolerantzia bereziak egokia egiten du aeroespazial eta defentsa aplikazioetarako, non ingurune gogorretan fidagarritasuna funtsezkoa den.
Gainera, SOI oblearen moldakortasuna zirkuitu integratu fotonikoetara (PIC) bezalako teknologia berrietara hedatzen da, non osagai optiko eta elektronikoak substratu bakarrean integratzeak hurrengo belaunaldiko telekomunikazio eta datu-komunikazio sistemetarako itxaropentsua den.
Laburbilduz, hiru geruzako silizio-isolatzaile (SOI) obleak mikroelektronikako eta RF aplikazioetako berrikuntzaren abangoardian daude. Bere arkitektura bereziak eta errendimendu-ezaugarri bikainak hainbat industriatan aurrerapenak egiteko bidea zabaltzen dute, aurrerapena bultzatuz eta teknologiaren etorkizuna moldatuz.
Diagrama zehatza

