Silizio karburoa zeramikazko erretilua sugeak silizio karburo zeramikazko hodia hornitzen tenperatura altua

Silizio karburo zeramikazko erretilua sugeak silizio karburo zeramikazko hornidura Tenperatura altua

Deskribapen laburra:

Silikonazko karburo zeramikazko erretilua eta silizio karburo zeramikazko hodiak ezinbestekoak dira errendimendu handiko materialak fabrikazio erdieroaleetan. Silizio karburo zeramikazko erretilua batez ere waffer prozesatzeko finkatuta eta errodatzen da, doitasun handiko prozesuaren egonkortasuna bermatzeko; Silikonazko karburo zeramikazko hodiak oso erabiliak dira tenperatura altuko labeetan, difusio labe hodietan eta bestelako eszenatokietan muturreko inguruneak jasateko eta kudeaketa termiko eraginkorra mantentzeko. Biak silizio karbidean oinarritzen dira oinarrizko material gisa, erdieroaleen industrian funtsezko osagai bihurtu direnak, propietate fisiko eta kimiko bikainak direla eta.

Bidali mezu elektronikoa guri

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

Ezaugarri nagusiak:

1. Silicon karburo zeramikazko erretilua
- Gogortasun eta higadura erresistentzia handia: gogortasuna diamantetik gertu dago eta denbora luzez wafer prozesatzeko higadura mekanikoa jasan dezake.
- Erosketa termiko altua eta hedapen termiko baxuko koefizientea: beroaren xahutzea eta dimentsioaren egonkortasuna, estres termikoek eragindako deformazioa saihestuz.
- Laburtasun handiko eta gainazalaren akabera: gainazaleko lautasuna mikronaren mailaraino dago, ogitartekoaren eta diskoaren arteko harreman osoa bermatuz, kutsadura eta kalteak murriztuz.
Egonkortasun kimikoa: korrosioarekiko erresistentzia sendoa, erdieroaleen fabrikazioan garbiketa hezea eta grabaketa prozesuetarako egokia.
2. Silicon karburo zeramikazko hodia
- Tenperatura altuko erresistentzia: 1600 ºC-tik gorako tenperatura handiko ingurunean lan egin dezake denbora luzez, tenperatura altuko prozesurako erdieroaleetarako egokia.
Korrosioarekiko erresistentzia bikaina: azido, alkalis eta disolbatzaile kimikoen erresistentea, prozesu ingurune gogorretarako egokia.
- Gogortasun eta higadura erresistentzia handia: partikulen higadurari eta higadura mekanikoei aurre egin, zerbitzuaren bizitza luzatu.
- Erosketa termiko altua eta hedapen termikoaren koefiziente baxua: beroaren eta dimentsioaren egonkortasunaren eroankortasuna, estres termikoaren ondorioz sortutako deformazioa edo pitzadura murriztea.

Produktuen parametroa:

Silizio karburo zeramikazko parametroa:

(Jabetza materiala)		(Unitatea)	(SSIC)
(Sic edukia)		(Wt)%	> 99
(Batez besteko alearen tamaina)		micron	4-10
(Dentsitatea)		kg / dm3	> 3.14
(Itxurazko porositatea)		% 1	<0,5
(Vickers gogortasuna)	HV 0,5	GBA	28
* () Flexio indarra * (hiru puntu)	20 ºC	Mpa	450
(Konpresioaren indarra)	20 ºC	Mpa	3900
(Elastiko modulua)	20 ºC	GBA	420
(Haustura gogortasuna)		MPA / M '%	3.5
(Eroankortasun termikoa)	20 ° ºC	W / (m * k)	160
(Erresistentzia)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Hedapen termikoko koefizientea)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1 * 10-6	4.3
(Eragiketa tenperatura maximoa)		OCC	1700

Silizio karburo zeramikazko parametroa:

Manatu	Aurkibide
α-sic	% 99 min
Itxurazko porositate	% 16 Max
Ontziratu dentsitatea	2,7g / cm3 min
Indarra okertu tenperatura altuan	100 mpa min
Hedapen termikoaren koefizientea	K-1 4.7x10 -6
Eroankortasun termikoaren koefizientea (1400ºC)	24 w / mk
Max. Lan tenperatura	1650ºC

Aplikazio nagusiak:

1. Silicon karburo zeramikazko plaka
- Waiketako ebaketa eta leuntzea: errodadura plataforma gisa balio du, zehaztasun eta egonkortasun handia ziurtatzeko ebaketa eta leuntze garaian.
- Litografia prozesua: Ogitegia litografia makinan finkatuta dago esposizioan zehar zehaztasun handiko posizionamendua ziurtatzeko.
- Politika mekaniko kimikoa (CMP): Pads leuntzeko laguntza plataforma gisa jokatzen du, presio uniformea eta bero banaketa eskainiz.
2. Silicon karburo zeramikazko hodia
- Tenperatura altuko labe hodia: tenperatura altuko ekipamenduetarako erabiltzen da, esaterako, difusio labeak eta oxidazio labeak, tenperatura handiko prozesuen tratamendua egiteko.
- CVD / PVD prozesua: erreakzio-ganberako errodadura hodia, tenperatura altuak eta gas korrosiboak erresistenteak.
- Ekipamendu erdieroaleak: bero-trukagailuak, gas-hodiak eta abar, ekipoen kudeaketa termikoaren eraginkortasuna hobetzeko.
Xkh-k zerbitzu pertsonalizatu ugari eskaintzen ditu silizio karburo zeramikazko erretiluak, xurgagailuak eta silikonazko karburo zeramikazko hodiak. Silizio karburo zeramikazko erretiluak eta xurgagailuak, Xkh neurri desberdinetako bezeroen eskakizunen arabera pertsonaliza daitezke, tamaina, forma eta gainazaleko zimurtasunak, eta estalduraren tratamendu berezia babesten dute, higadura erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia hobetzeko; Silicon karburo hodietarako, Xkh-k barruko diametroa, kanpoko diametroa, luzera eta egitura konplexua (esaterako, formako hodi edo hodi porotsua) pertsonaliza ditzake, eta leuntzea, oxidazioaren aurkako estaldura eta gainazaleko tratamendu prozesuak. Xkh-k ziurtatu du bezeroek silizio karburo zeramikazko produktuen errendimenduaren onurak aprobetxatu ditzaketela, esaterako, erdieroaleak, LEDak eta fotovoltaikoak.