SiC Zeramikazko Sardexka Besoa / Amaierako Efektorea – Erdieroaleen Fabrikaziorako Zehaztasun Aurreratua

Deskribapen laburra:

SiC zeramikazko sardexka-besoa, askotan zeramikazko muturreko efektore gisa ezagutzen dena, errendimendu handiko zehaztasun-manipulazio osagai bat da, bereziki goi-teknologiako industrietan, batez ere erdieroaleen eta fotovoltaikoen ekoizpenean, obleen garraiorako, lerrokatzerako eta kokapenerako garatua. Silizio karburozko zeramika puruekin fabrikatua, osagai honek erresistentzia mekaniko bikaina, hedapen termiko ultra-txikia eta kolpe termiko eta korrosioarekiko erresistentzia bikaina konbinatzen ditu.

Bidali mezu elektroniko bat guregana

Ezaugarriak

Diagrama zehatza

Produktuaren ikuspegi orokorra

Aluminioz, altzairu herdoilgaitzez edo baita kuartzoz egindako muturreko efektore tradizionalen aldean, SiC zeramikozko muturreko efektoreek errendimendu paregabea eskaintzen dute huts-ganberetan, gela garbietan eta prozesatzeko ingurune gogorretan, eta horrek hurrengo belaunaldiko obleak maneiatzeko roboten funtsezko atal bihurtzen ditu. Kutsadurarik gabeko ekoizpenaren eskaria gero eta handiagoa denez eta txipak egiteko tolerantzia estuagoak daudenez, zeramikazko muturreko efektoreen erabilera azkar bihurtzen ari da industriaren estandarra.

Fabrikazio Printzipioa

Fabrikazioa.SiC zeramikazko muturreko efektoreakzehaztasun handiko eta purutasun handiko prozesu sorta bat dakar, errendimendua eta iraunkortasuna bermatzen dituztenak. Bi prozesu nagusi erabiltzen dira normalean:

Erreakzio-loturadun silizio karburoa (RB-SiC)

Prozesu honetan, silizio karburo hautsez eta aglutinatzailez egindako preforma bat silizio urtuarekin infiltratzen da tenperatura altuetan (~1500 °C), eta honek karbono hondarrarekin erreakzionatzen du SiC-Si konposite trinko eta zurrun bat osatzeko. Metodo honek dimentsio-kontrol bikaina eskaintzen du eta kostu-eraginkorra da eskala handiko ekoizpenerako.

Presiorik gabeko sinterizazio bidezko silizio karburoa (SSiC)

SSiC SiC hauts ultrafina eta purutasun handikoa sinterizatuz egiten da, tenperatura oso altuetan (>2000 °C), gehigarririk edo lotura-faserik erabili gabe. Horren ondorioz, ia % 100eko dentsitatea duen produktua lortzen da, eta SiC materialen artean eskuragarri dauden propietate mekaniko eta termiko altuenak ditu. Aproposa da oblea manipulatzeko aplikazio ultrakritikoetarako.

Postprozesamendua

Zehaztasun CNC MekanizazioaLautasun eta paralelismo handia lortzen du.
Gainazaleko akaberaDiamante bidezko leuntzeak gainazaleko zimurtasuna <0,02 µm-ra murrizten du.
IkuskapenaInterferometria optikoa, CMM eta proba ez-suntsitzaileak erabiltzen dira pieza bakoitza egiaztatzeko.

Urrats hauek bermatzen duteSiC amaierako efektoreaObleen kokapen zehaztasun koherentea, planaritate bikaina eta partikula sorrera minimoa eskaintzen ditu.

Ezaugarri eta abantaila nagusiak

Ezaugarria	Deskribapena
Gogortasun Ultra Handia	Vickers gogortasuna > 2500 HV, higadura eta txirbiltzearen aurkakoa.
Hedapen Termiko Txikia	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, ziklo termikoan dimentsio-egonkortasuna ahalbidetuz.
Inertzia kimikoa	HF, HCl, plasma gasen eta beste agente korrosibo batzuen aurrean erresistentea.
Kolpe Termikoen Erresistentzia Bikaina	Hutsean eta labean berotze/hozte azkarrerako egokia.
Zurruntasun eta indar handia	Sardexka-beso luzeak kontsolatuan eusten ditu deformatu gabe.
Gas-isurketa txikia	Hutsune ultra-altuko (UHV) inguruneetarako aproposa.
ISO 1. Klaseko gela garbietarako prest	Partikularik gabeko funtzionamenduak oblearen osotasuna bermatzen du.

Aplikazioak

SiC zeramikazko sardexka-besoa / muturreko efektorea oso erabilia da zehaztasun, garbitasun eta erresistentzia kimiko handia behar duten industrietan. Aplikazio-eszenatoki nagusien artean hauek daude:

Erdieroaleen fabrikazioa

Obleen kargatzea/deskargatzea deposizio (CVD, PVD), grabatze (RIE, DRIE) eta garbiketa sistemetan.
Oblea garraiatzeko robota FOUPen, kaseteen eta prozesu-tresnen artean.
Tenperatura altuko manipulazioa prozesamendu termikoan edo erreketan.

Zelula fotovoltaikoen ekoizpena

Siliziozko oblea edo eguzki-substratu hauskorren garraio delikatua lerro automatizatuetan.

Pantaila Lauen (FPD) Industria

OLED/LCD ekoizpen-inguruneetan beirazko panel edo substratu handiak mugitzea.

Konposatu erdieroaleak / MEMS

GaN, SiC eta MEMS fabrikazio-lerroetan erabiltzen da, non kutsaduraren kontrola eta kokapenaren zehaztasuna funtsezkoak diren.

Bere amaierako efektore-eginkizuna bereziki kritikoa da eragiketa sentikorretan akatsik gabeko eta manipulazio egonkorra bermatzeko.

Pertsonalizazio gaitasunak

Ekipamendu eta prozesuen eskakizun desberdinak asetzeko pertsonalizazio zabala eskaintzen dugu:

Sardexkaren diseinuaBi puntako, hatz anitzeko edo maila zatituko diseinuak.
Oblearen tamainaren bateragarritasuna2 hazbetetik 12 hazbeteko obleak.
Muntatzeko interfazeakOEM robot-besoekin bateragarria.
Lodiera eta gainazaleko tolerantziakMikroi mailako lautasuna eta ertz biribiltzea eskuragarri.
Irristadaren aurkako ezaugarriakAukerako gainazaleko ehundurak edo estaldurak oblearen helduleku segurua lortzeko.

Bakoitzazeramikazko amaierako efektorebezeroekin batera diseinatuta dago, tresneria-aldaketa minimoekin doikuntza zehatza bermatzeko.

Maiz Egiten diren Galderak (FAQ)

1. galdera: Nola da SiC kuartzoa baino hobea amaierako efektore aplikazio baterako?
A1:Kuartzoa bere purutasunagatik erabiltzen den arren, ez du gogortasun mekanikorik eta karga edo tenperatura-kolpeen pean hausteko joera du. SiC-k erresistentzia, higadura-erresistentzia eta egonkortasun termiko handiagoak eskaintzen ditu, geldialdi eta oblea kaltetzeko arriskua nabarmen murriztuz.

2.G: Zeramikazko sardexka-beso hau bateragarria al da oblea-manipulatzaile robotiko guztiekin?
A2:Bai, gure zeramikazko muturreko efektoreak oblea maneiatzeko sistema nagusi gehienekin bateragarriak dira eta zure eredu robotiko espezifikoetara egokitu daitezke ingeniaritza-marrazki zehatzekin.

3.G: 300 mm-ko obleak maneiatu al ditzake deformatu gabe?
A3:Noski. SiC-aren zurruntasun handiak sardexka-beso mehe eta luzeek ere 300 mm-ko obleak segurtasunez eustea ahalbidetzen du, mugimenduan zehar hondoratu edo desbideratu gabe.

4. galdera: Zein da SiC zeramikazko amaierako efektore baten ohiko zerbitzu-bizitza?
A4:Egoki erabiliz gero, SiC amaierako efektore batek kuartzozko edo aluminiozko modelo tradizionalak baino 5-10 aldiz gehiago iraun dezake, tentsio termiko eta mekanikoarekiko duen erresistentzia bikainari esker.

5.G: Ordezkapenak edo prototipo azkarreko zerbitzuak eskaintzen dituzue?
A5:Bai, lagin-ekoizpen azkarra onartzen dugu eta ordezkapen-zerbitzuak eskaintzen ditugu CAD marrazkietan edo dauden ekipamenduetatik alderantzizko ingeniaritzako piezetan oinarrituta.

Guri buruz

XKH beira optiko berezien eta kristal material berrien garapen, ekoizpen eta salmenta teknologiko aurreratuan espezializatuta dago. Gure produktuak elektronika optikorako, kontsumo elektronikarako eta armadarako balio dute. Zafiro osagai optikoak, telefono mugikorren lenteen estalkiak, zeramika, LT, silizio karburo SIC, kuartzoa eta erdieroale kristalezko obleak eskaintzen ditugu. Esperientzia trebea eta punta-puntako ekipamendua ditugunez, produktu ez-estandarren prozesamenduan nabarmentzen gara, optoelektroniko materialetan goi-mailako teknologiako enpresa liderra izateko helburuarekin.