Zafiro substratu eredudun PSS 2 hazbeteko 4 hazbeteko 6 hazbeteko ICP grabatu lehorra LED txipetarako erabil daiteke
Oinarrizko ezaugarria
1. Materialaren ezaugarriak: Substratuaren materiala zafiro monokristala da (Al₂O₃), gogortasun handikoa, beroarekiko erresistentzia handikoa eta egonkortasun kimiko handikoa.
2. Gainazalaren egitura: Gainazala fotolitografiaren eta mikro-nano egitura periodikoetan grabatzearen bidez eratzen da, hala nola konoak, piramideak edo hexagono-multzoak.
3. Errendimendu optikoa: Gainazalaren patroi-diseinuaren bidez, interfazean argiaren isla osoa murrizten da eta argia erauzteko eraginkortasuna hobetzen da.
4. Errendimendu termikoa: Zafiro substratuak eroankortasun termiko bikaina du, potentzia handiko LED aplikazioetarako egokia.
5. Tamaina zehaztapenak: Ohiko tamainak 2 hazbetekoak (50,8 mm), 4 hazbetekoak (100 mm) eta 6 hazbetekoak (150 mm) dira.
Aplikazio-eremu nagusiak
1. LED fabrikazioa:
Argia erauzteko eraginkortasun hobetua: PSS-k argi-galera murrizten du diseinu ereduaren bidez, LEDaren distira eta argi-eraginkortasuna nabarmen hobetuz.
Hazkunde epitaxialaren kalitate hobetua: Egitura eredudunak hazkuntza-oinarri hobea eskaintzen du GaN geruza epitaxialentzat eta LEDen errendimendua hobetzen du.
2. Laser diodoa (LD):
Potentzia handiko laserrak: PSS-ren eroankortasun termiko handia eta egonkortasuna potentzia handiko laser diodoetarako egokiak dira, beroa xahutzeko errendimendua eta fidagarritasuna hobetuz.
Atalase-korronte baxua: Hazkunde epitaxiala optimizatu, laser diodoaren atalase-korrontea murriztu eta eraginkortasuna hobetu.
3. Fotodetektagailua:
Sentikortasun handia: PSS-aren argi-transmisio altuak eta akats-dentsitate baxuak fotodetektagailuaren sentikortasuna eta erantzun-abiadura hobetzen dituzte.
Espektro-erantzun zabala: ultramorearen eta ikusgaiaren arteko tartean detekzio fotoelektrikorako egokia.
4. Potentzia elektronika:
Tentsio handiko erresistentzia: Zafiroaren isolamendu handia eta egonkortasun termikoa tentsio handiko potentzia gailuetarako egokiak dira.
Beroaren xahutze eraginkorra: eroankortasun termiko altuak potentzia-gailuen beroaren xahutze-errendimendua hobetzen du eta zerbitzu-bizitza luzatzen du.
5. Irrati-maiztasuneko gailuak:
Maiztasun handiko errendimendua: PSS-ren galera dielektriko txikia eta egonkortasun termiko handia egokiak dira maiztasun handiko RF gailuetarako.
Zarata baxua: Lautasun handiak eta akatsen dentsitate txikiak gailuaren zarata murrizten dute eta seinalearen kalitatea hobetzen dute.
6. Biosentsoreak:
Sentikortasun handiko detekzioa: PSS-ren argi-transmisio handiak eta egonkortasun kimikoak egokiak dira sentikortasun handiko biosentsoreetarako.
Biobateragarritasuna: Zafiroaren biobateragarritasunak aplikazio mediko eta biodetekziorako egokia egiten du.
GaN epitaxial materialarekin egindako zafiro substratu ereduduna (PSS):
Zafiro substratu ereduduna (PSS) substratu aproposa da GaN (galio nitruroa) hazkuntza epitaxialerako. Zafiroaren sare-konstantea GaN-aren antzekoa da, eta horrek sare-desadostasunak eta hazkuntza epitaxialeko akatsak murriztu ditzake. PSS gainazalaren mikro-nano egiturak argia erauzteko eraginkortasuna hobetzeaz gain, GaN geruza epitaxialaren kristal-kalitatea ere hobetzen du, eta horrela LEDaren errendimendua eta fidagarritasuna hobetzen ditu.
Parametro teknikoak
| Elementua | Zafiro substratu ereduduna (2~6 hazbete) | ||
| Diametroa | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Lodiera | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Gainazalaren orientazioa | C planoa (0001) M ardatzarekiko angelutik kanpo (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| C planoa (0001) A ardatzarekiko angelutik kanpo (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Orientazio laua nagusia | A planoa (11-20) ± 1.0° | ||
| Lehen mailako luzera laua | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-Plane | 9:00etan | ||
| Aurrealdeko gainazalaren akabera | Ereduduna | ||
| Atzeko gainazalaren akabera | SSP: Fin-ehotua, Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi-leundua, Ra<0.3nm | ||
| Laser marka | Atzealdea | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| ARKUA | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Ertz-bazterketa | ≤2 mm | ||
| Ereduaren zehaztapena | Forma Egitura | Kupula, Konoa, Piramidea | |
| Ereduaren altuera | 1,6~1,8 μm | ||
| Ereduaren diametroa | 2,75~2,85 μm | ||
| Eredu Espazioa | 0,1~0,3μm | ||
XKHk zafiro substratu pertsonalizatu eta kalitate handikoak (PSS) eskaintzen espezializatuta dago, laguntza teknikoarekin eta salmenta osteko zerbitzuarekin, bezeroei LED, pantaila eta optoelektronika arloan berrikuntza eraginkorra lortzen laguntzeko.
1. Kalitate handiko PSS hornidura: LED, pantaila eta gailu optoelektronikoen beharrak asetzeko hainbat tamainatako (2 ", 4 ", 6") zafiro substratu eredudunak.
2. Diseinu pertsonalizatua: Pertsonalizatu gainazaleko mikro-nano egitura (konoa, piramidea edo hexagono-multzoa, adibidez) bezeroaren beharren arabera, argia erauzteko eraginkortasuna optimizatzeko.
3. Laguntza teknikoa: PSS aplikazioen diseinua, prozesuen optimizazioa eta aholkularitza teknikoa eskaintzea bezeroei produktuen errendimendua hobetzen laguntzeko.
4. Hazkunde epitaxialaren euskarria: GaN material epitaxialarekin bat datorren PSS ematen da geruza epitaxialaren hazkundearen kalitate handia bermatzeko.
5. Probak eta ziurtagiriak: Eman PSS kalitate ikuskapen txostena produktuak industriako estandarrak betetzen dituztela ziurtatzeko.
Diagrama zehatza
