LT Litio Tantalato (LiTaO3) Kristala 2 hazbeteko/3 hazbeteko/4 hazbeteko/6 hazbeteko Orientazioa Y-42°/36°/108° Lodiera 250-500um
Parametro teknikoak
Izena | LiTaO3 kalitate optikokoa | Soinu-mahaiaren maila LiTaO3 |
Ardatza | Z ebakia + / - 0,2 ° | 36 ° Y ebakia / 42 ° Y ebakia / X ebakia(+ / - 0,2 °) |
Diametroa | 76,2 mm + / - 0,3 mm/100 ± 0,2 mm | 76,2 mm + /- 0,3 mm100 mm + /-0,3 mm 0r 150 ± 0,5 mm |
Datu-planoa | 22 mm + / - 2 mm | 22 mm + /-2 mm32 mm + /-2 mm |
Lodiera | 500um + /-5mm1000um + /-5mm | 500um + /-20mm350um + /-20mm |
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
Curie tenperatura | 605 °C + / - 0,7 °C (DTA metodoa) | 605 °C + / -3 °C (DTA metodoa) |
Gainazalaren kalitatea | Bi aldeetako leuntzea | Bi aldeetako leuntzea |
Ertz txanflatuak | ertz biribiltzea | ertz biribiltzea |
Ezaugarri nagusiak
1. Kristal-egitura eta errendimendu elektrikoa
· Kristalografia-egonkortasuna: % 100eko 4H-SiC politipoaren nagusitasuna, zero inklusio multikristalino (adibidez, 6H/15R), XRD kurba kulunkaria zabalera osoan erdi-gehienekoan (FWHM) ≤32.7 arku-seg-koa izanik.
· Garraiatzaileen Mugikortasun Handia: 5.400 cm²/V·s-ko elektroi-mugikortasuna (4H-SiC) eta 380 cm²/V·s-ko zulo-mugikortasuna, maiztasun handiko gailuen diseinuak ahalbidetuz.
·Erradiazio Gogortasuna: 1 MeV-eko neutroi irradiazioa jasaten du, 1×10¹⁵ n/cm²-ko desplazamendu-kalteen atalasearekin, aproposa aeroespazial eta nuklear aplikazioetarako.
2. Ezaugarri termiko eta mekanikoak
· Eroankortasun termiko bikaina: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), silizioaren hirukoitza, 200 °C-tik gorako funtzionamendua onartzen duena.
· Hedapen Termiko Koefiziente Baxua: 4.0×10⁻⁶/K-ko CTE (25–1000°C), silikonazko ontziekin bateragarritasuna bermatuz eta tentsio termikoa minimizatuz.
3. Akatsen kontrola eta prozesamenduaren zehaztasuna
· Mikrohodiaren dentsitatea: <0,3 cm⁻² (8 hazbeteko obleak), dislokazio-dentsitatea <1.000 cm⁻² (KOH grabatuaren bidez egiaztatuta).
· Gainazalaren kalitatea: CMP bidez leundua Ra <0,2 nm-ra arte, EUV litografia-mailako lautasun-eskakizunak betetzen ditu.
Aplikazio nagusiak
Domeinua | Aplikazio Eszenarioak. | Abantaila teknikoak. |
Komunikazio optikoak. | 100G/400G laserrak, siliziozko fotonika hibrido moduluak | InP hazi-substratuek banda-tarte zuzena (1.34 eV) eta Si oinarritutako heteroepitaxia ahalbidetzen dituzte, akoplamendu optikoaren galera murriztuz. |
Energia Berriko Ibilgailuak | 800V-ko goi-tentsioko inbertsoreak, kargagailu integratuak (OBC) | 4H-SiC substratuek >1.200 V jasaten dituzte, eroapen-galerak % 50ean eta sistemaren bolumena % 40an murriztuz. |
5G Komunikazioak | Milimetro-uhinen RF gailuak (PA/LNA), oinarrizko estazioaren potentzia anplifikadoreak | SiC substratu erdi-isolatzaileek (erresistibitatea >10⁵ Ω·cm) maiztasun handiko (60 GHz+) integrazio pasiboa ahalbidetzen dute. |
Industria Ekipamendua | Tenperatura altuko sentsoreak, korronte-transformadoreak, erreaktore nuklearren monitoreak | InSb hazi-substratuek (0,17 eV-ko banda-tartea) % 300erainoko sentikortasun magnetikoa eskaintzen dute 10 T-tan. |
LiTaO₃ obleak - Ezaugarri nagusiak
1. Errendimendu piezoelektriko bikaina
· Koefiziente piezoelektriko altuek (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) maiztasun handiko SAW/BAW gailuak ahalbidetzen dituzte 5G RF iragazkietarako <1.5dB-ko txertatze-galerarekin.
· Akoplamendu elektromekaniko bikainak banda-zabalera zabaleko (≥% 5) iragazkien diseinuak onartzen ditu 6 GHz azpiko eta mmWave aplikazioetarako.
2. Ezaugarri optikoak
· Banda zabaleko gardentasuna (> % 70eko transmisioa 400-5000 nm-tik) 40 GHz-ko banda-zabalera baino handiagoa lortzen duten modulatzaile elektro-optikoetarako
· Suszeptibilitate optiko ez-lineal sendoak (χ⁽²⁾~30pm/V) bigarren harmonikoen sorrera eraginkorra (SHG) errazten du laser sistemetan
3. Ingurumen-egonkortasuna
Curie tenperatura altuak (600 °C) erantzun piezoelektrikoa mantentzen du automobilgintzako inguruneetan (-40 °C-tik 150 °C-ra).
· Azido/alkalien (pH1-13) aurkako inertzia kimikoak sentsore industrialen aplikazioetan fidagarritasuna bermatzen du
4. Pertsonalizazio gaitasunak
· Orientazio-ingeniaritza: X-ebakidura (51°), Y-ebakidura (0°), Z-ebakidura (36°) neurrira egindako erantzun piezoelektrikoetarako
· Dopaketa aukerak: Mg-dopatua (kalte optikoen aurkako erresistentzia), Zn-dopatua (d₃₃ hobetua)
· Gainazaleko akaberak: Epitaxialki prest dagoen leuntzea (Ra<0.5nm), ITO/Au metalizazioa
LiTaO₃ obleak - Aplikazio nagusiak
1. RF aurrealdeko moduluak
· 5G NR SAW iragazkiak (n77/n79 banda), maiztasun-tenperatura koefizientearekin (TCF) <|-15ppm/°C|
· WiFi 6E/7rako (5.925-7.125GHz) banda zabaleko BAW erresonadoreak
2. Fotonika Integratua
· Abiadura handiko Mach-Zehnder modulagailuak (>100Gbps) komunikazio optiko koherenteetarako
· QWIP infragorri detektagailuak, 3-14 μm-ko mozketa-uhin-luzera sintonizagarriekin
3. Automobilgintzako elektronika
· 200kHz-ko funtzionamendu-maiztasun handiagoa duten aparkaleku-sentsore ultrasonikoak
· TPMS piezoelektrikoak, -40 °C-tik 125 °C-ra bitarteko ziklo termikoak jasaten dituztenak
4. Defentsa Sistemak
· EW hargailuen iragazkiak >60dB bandaz kanpoko bazterketarekin
· Misilen bilatzaile IR leihoak 3-5μm MWIR erradiazioa transmititzen dute
5. Teknologia emergenteak
· Mikrouhin-optiko bihurketarako transduktore kuantiko optomekanikoak
· PMUT matrizeak ultrasoinu medikoetarako irudietarako (>20MHz bereizmena)
LiTaO₃ Obleak - XKH Zerbitzuak
1. Hornikuntza-katearen kudeaketa
· Obleatik obleara prozesatzea, 4 asteko epearekin zehaztapen estandarretarako
· Kostu optimizatutako ekoizpenak lehiakideekiko % 10-15eko prezio-abantaila eskaintzen du
2. Soluzio pertsonalizatuak
· Orientazio espezifikoko oblea: 36°±0.5° Y-mozketa SAW errendimendu optimoa lortzeko
· Dopatutako konposizioak: MgO (% 5 mol) dopaketa aplikazio optikoetarako
Metalizazio zerbitzuak: Cr/Au (100/1000 Å) elektrodoen patroitzea
3. Laguntza teknikoa
· Materialen karakterizazioa: XRD kulunkatze kurbak (FWHM<0.01°), AFM gainazalaren analisia
· Gailuen simulazioa: FEM modelatzea SAW iragazkiaren diseinuaren optimizaziorako
Ondorioa
LiTaO₃ oblek aurrerapen teknologikoak ahalbidetzen jarraitzen dute RF komunikazioetan, fotonika integratuan eta ingurune gogorreko sentsoreetan. XKHren materialen espezializazioak, fabrikazio zehaztasunak eta aplikazioen ingeniaritzako laguntzak bezeroei hurrengo belaunaldiko sistema elektronikoen diseinu erronkak gainditzen laguntzen diete.


