8 hazbeteko SiC Produkzio-mailako ostia 4H-N SiC substratua

8 hazbeteko SiC Ekoizpen-mailako ostia 4H-N SiC substratua Irudi nabarmendua

Deskribapen laburra:

8 hazbeteko SiC substratuak potentzia handiko gailu elektronikoetan erabiltzen dira, hala nola potentzia MOSFETak (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistore), Schottky diodoak eta beste potentzia erdieroale gailu batzuetan.

Bidali mezu elektronikoa

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

Hurrengo taulak gure 8 hazbeteko SiC obleen zehaztapenak erakusten ditu:

8 hazbeteko N motako SiC DSP zehaztapenak
Zenbakia	Elementua	Unitatea	Ekoizpena	Ikerketa	Manikoa
1: parametroak
1.1	politipoa	--	4H	4H	4H
1.2	gainazaleko orientazioa	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: parametro elektrikoa
2.1	dopatzailea	--	n motako nitrogenoa	n motako nitrogenoa	n motako nitrogenoa
2.2	erresistentzia	ohm · cm	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3: Parametro mekanikoa
3.1	diametroa	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	lodiera	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Notch orientazioa	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Notch-en sakonera	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5 (10mm*10mm)	≤5 (10mm*10mm)	≤10 (10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Arkua	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Warp	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Egitura
4.1	mikrohodien dentsitatea	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metal edukia	atomoak/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.Frontal kalitatea
5.1	aurrean	--	Si	Si	Si
5.2	gainazaleko akabera	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	partikula	ea/ostia	≤100 (tamaina ≥0,3μm)	NA	NA
5.4	urratu	ea/ostia	≤5, Luzera osoa ≤200mm	NA	NA
5.5	Ertza txirbilak/koskak/pitzadurak/orbanak/kutsadura	--	Bat ere ez	Bat ere ez	NA
5.6	Politipo eremuak	--	Bat ere ez	Eremua ≤10%	Eremua ≤30%
5.7	aurrealdeko marka	--	Bat ere ez	Bat ere ez	Bat ere ez
6: Atzeko kalitatea
6.1	atzeko akabera	--	C-aurpegia MP	C-aurpegia MP	C-aurpegia MP
6.2	urratu	mm	NA	NA	NA
6.3	Atzeko akatsen ertza txipak/koskak	--	Bat ere ez	Bat ere ez	NA
6.4	Bizkarreko zakartasuna	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Atzeko markaketa	--	Notch	Notch	Notch
7: ertza
7.1	ertza	--	Txanflarra	Txanflarra	Txanflarra
8: Paketea
8.1	bilgarri	--	Epi-prest hutsarekin bilgarri	Epi-prest hutsarekin bilgarri	Epi-prest hutsarekin bilgarri
8.2	bilgarri	--	Ostia anitzekoa kasete ontziratzea	Ostia anitzekoa kasete ontziratzea	Ostia anitzekoa kasete ontziratzea