8 hazbeteko SiC ekoizpen mailako oblea 4H-N SiC substratua
Hurrengo taulan gure 8 hazbeteko SiC obleen zehaztapenak ageri dira:
| 8 hazbeteko N motako SiC DSP zehaztapenak | |||||
| Zenbakia | Elementua | Unitatea | Ekoizpena | Ikerketa | Txantxa |
| 1: parametroak | |||||
| 1.1 | politipo | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | gainazalaren orientazioa | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Parametro elektrikoa | |||||
| 2.1 | dopante | -- | n motako nitrogenoa | n motako nitrogenoa | n motako nitrogenoa |
| 2.2 | erresistentzia | ohm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Parametro mekanikoa | |||||
| 3.1 | diametroa | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | lodiera | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Koska orientazioa | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Koska sakonera | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Arkua | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Deformazioa | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Egitura | |||||
| 4.1 | mikrohodi dentsitatea | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metal edukia | atomo/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Aurrealdeko kalitatea | |||||
| 5.1 | aurrealdea | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | gainazalaren akabera | -- | Si-aurpegiko CMP | Si-aurpegiko CMP | Si-aurpegiko CMP |
| 5.3 | partikula | oblea | ≤100 (tamaina ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | urradura | oblea | ≤5, Luzera osoa ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Ertza txirbilak/koskak/pitzadurak/orbanak/kutsadura | -- | Bat ere ez | Bat ere ez | NA |
| 5.6 | Politipo eremuak | -- | Bat ere ez | Eremua ≤10% | Eremua ≤30% |
| 5.7 | aurrealdeko markaketa | -- | Bat ere ez | Bat ere ez | Bat ere ez |
| 6: Atzeko kalitatea | |||||
| 6.1 | atzeko akabera | -- | C-aurpegiko diputatua | C-aurpegiko diputatua | C-aurpegiko diputatua |
| 6.2 | urradura | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Atzeko ertzaren akatsak txirbilak/koskak | -- | Bat ere ez | Bat ere ez | NA |
| 6.4 | Bizkarreko zimurtasuna | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Atzeko markaketa | -- | Koska | Koska | Koska |
| 7:ertza | |||||
| 7.1 | ertza | -- | Txanfla | Txanfla | Txanfla |
| 8: Paketea | |||||
| 8.1 | ontziratzea | -- | Epi-prest hutsean ontziratzea | Epi-prest hutsean ontziratzea | Epi-prest hutsean ontziratzea |
| 8.2 | ontziratzea | -- | Oblea anitzekoa kasete-ontziratzea | Oblea anitzekoa kasete-ontziratzea | Oblea anitzekoa kasete-ontziratzea |
Diagrama zehatza
Idatzi zure mezua hemen eta bidali iezaguzu