6 hazbeteko SiC Epitaxiy ostia N/P motako pertsonalizatua onartzen du

6 hazbeteko SiC Epitaxiy oblea N/P motako irudi pertsonalizatua onartzen du

Deskribapen laburra:

4, 6, 8 hazbeteko silizio karburo epitaxial oblea eta galdaketa epitaxial zerbitzuak, ekoizpen (600V ~ 3300V) potentzia gailuak SBD, JBS, PiN, MOSFET, JFET, BJT, GTO, IGBT eta abar barne.

4 hazbeteko eta 6 hazbeteko SiC epitaxial obleak eman ditzakegu potentzia-gailuen fabrikaziorako, SBD JBS PiN MOSFET JFET BJT GTO & IGBT 600V-tik 3300V-ra arte.

Bidali mezu elektronikoa

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

Silizio-karburoko oblea epitaxialaren prestaketa-prozesua Lurrun Kimikoaren Deposizioa (CVD) teknologia erabiltzen duen metodoa da. Honako hauek dira printzipio tekniko garrantzitsuak eta prestatzeko prozesuaren urratsak:

Printzipio teknikoa:

Lurrun-deposizio kimikoa: gas-fasean lehengaien gasa erabiliz, erreakzio-baldintza zehatzetan, deskonposatu eta substratuan metatzen da nahi den film mehea eratzeko.

Gas-faseko erreakzioa: pirolisi edo pitzadura erreakzioaren bidez, gas faseko hainbat lehengai gas erreakzio-ganberan kimikoki aldatzen dira.

Prestaketa prozesuaren urratsak:

Substratuaren tratamendua: substratua gainazaleko garbiketa eta aurretratamendua jasaten du oblea epitaxialaren kalitatea eta kristalintasuna bermatzeko.

Erreakzio-ganberaren arazketa: egokitu erreakzio-ganberaren tenperatura, presioa eta emaria eta beste parametro batzuk erreakzio-baldintzen egonkortasuna eta kontrola bermatzeko.

Lehengaien hornidura: behar diren gas-lehengaiak hornitu erreakzio-ganberara, behar den neurrian emari-abiadura nahastuz eta kontrolatuz.

Erreakzio-prozesua: erreakzio-ganbera berotuz, lehengai gaseosoak erreakzio kimiko bat jasaten du ganberan nahi den gordailua sortzeko, hau da, silizio-karburozko filma.

Hoztea eta deskargatzea: erreakzioa amaitzean, tenperatura pixkanaka jaisten da, erreakzio-ganberako gordailuak hozteko eta solidotzeko.

Oblea epitaxiala errekuzitzea eta postprozesatzea: metatutako oblea epitaxiala erretu eta postprozesatzen da bere propietate elektrikoak eta optikoak hobetzeko.

Silizio karburo epitaxial oblea prestatzeko prozesuaren urrats eta baldintza zehatzak ekipamendu eta eskakizun espezifikoen arabera alda daitezke. Aurrekoa prozesu-fluxu orokorra eta printzipioa baino ez da, eragiketa zehatza egoera errealaren arabera egokitu eta optimizatu behar da.