4 hazbeteko 6 hazbeteko litio niobato kristal bakarreko film LNOI oblea
LNOI materialen prestaketa prozesua honako lau urrats hauetan banatzen da batez ere
(1) He ioiak X-mozketako litio niobato materialean injektatu ziren energia jakin batean, eta akats geruzan sartu ziren litio niobatoaren gainazaleko geruzaren azpiko sakonera jakin batean;
(2) Ioi-inplantatutako litio niobato materiala siliziozko substratu bati lotzen zaio oxido geruza batekin, lotura-egitura bat osatzeko;
(3) Lotura-egitura erregosten zen He ioien inplantazioak eragindako akatsak eboluzionatu eta elkartu ahal izateko, pitzadurak eratzeko. Azkenik, litio niobatoa akats-geruzan zehar bereizi zen, litio niobato xerrak eta LNOI obleak osatzeko.
LNOI oblearen aplikazioak eta abantailak
1--Litio niobatozko film piezoelektrikoek (LNOI) koefiziente piezoelektriko eta konstante dielektriko handia dute, eta energia mekanikoa energia elektriko edo energia elektrikoa energia mekaniko bihur dezakete. Hori dela eta, sentsoreen arloan erabiltzen da, hala nola presio-sentsoreetan, azelerazio-sentsoreetan, tenperatura-sentsoreetan eta abarretan. Horrez gain, litio niobatozko film piezoelektrikoa gailu akustikoetan eta bibrazio-gailuetan ere erabil daiteke, hala nola zeramikazko transduktore piezoelektriko konplexuko iragazki zeramiko piezoelektrikoetan.
2-Litio niobatozko film piezoelektrikoaren egonkortasuna ere bere abantaila bat da. Bere kristal-egituraren egonkortasunari eta inertzia kimikoari esker, litio niobatozko film piezoelektrikoak tenperatura altuetan, hezetasun handian, azido sendoetan, alkali sendoetan eta beste ingurune gogorretan funtziona dezake, korrosioarekiko erresistentzia eta iraunkortasun onarekin.
3-Litio niobatozko film piezoelektrikoa errendimendu eta egonkortasun bikaina duen material piezoelektriko berria da, eta aplikazio aukera zabala du. Zientziaren eta teknologiaren etengabeko garapenarekin, litio niobatozko film piezoelektrikoa hiri gehiagotan aplikatuko da, erosotasun eta berrikuntza gehiago ekarriz jendearen bizitzara.
Diagrama zehatza


