4 hazbeteko 6 hazbeteko litio niobato kristal bakarreko film LNOI ostia
LNOI materialen prestaketa prozesua lau urrats hauetan banatzen da nagusiki
(1) He ioiak X ebakitako litio-niobato-materialean injektatu ziren energia jakin batean, eta akatsen geruzara sartu ziren litio-niobatoaren gainazaleko geruzaren azpian sakonera jakin batean;
(2) Inplantatutako litio niobatoko materiala siliziozko substratu bati lotzen zaio oxido-geruza batekin lotura-egitura bat osatzeko;
(3) Lotura-egitura erretu egin zen, He ioiaren ezarpenak sartutako akatsak eboluzionatzeko eta agregatzeko pitzadurak sortzeko. Azkenik, litio-niobatoa akatsen geruzan zehar bereizi zen, hondar-niobato litio xerrak eta LNOI obleak osatzeko.
LNOI oblearen aplikazioak eta abantailak
1--Litio niobato film piezoelektrikoek (LNOI) koefiziente piezoelektriko eta konstante dielektriko altua dute, eta horrek energia mekanikoa energia elektriko bihur dezake edo energia elektrikoa energia mekaniko bihur dezake. Hori dela eta, sentsoreen arloan oso erabilia da, hala nola presio sentsoreak, azelerazio sentsoreak, tenperatura sentsoreak eta abar. Horrez gain, litio niobato film piezoelektriko gailu akustikoetan eta bibrazio gailuetan ere erabil daiteke, hala nola piezoelektriko zeramikazko transduktore konplexu piezoelektriko zeramikazko iragazkietan.
2-Litio niobato film piezoelektrikoaren egonkortasuna ere bere abantailetako bat da. Bere kristal-egituraren egonkortasuna eta inertetasun kimikoa dela eta, litio-niobato-film piezoelektrikoak tenperatura altuan, hezetasun handian, azido indartsuan, alkali sendoan eta beste ingurune gogorretan lan egin dezake, korrosioarekiko erresistentzia eta iraunkortasun onarekin.
3-Litio niobate film piezoelektrikoa errendimendu eta egonkortasun bikaina duen material piezoelektriko berria da eta aplikaziorako aukera zabala du. Zientzia eta teknologiaren etengabeko garapenarekin, litio niobato film piezoelektrikoa hiri gehiagotan aplikatuko da, jendearen bizitzan erosotasun eta berrikuntza gehiago ekarriz.