4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch ekoizpen Dummy kalitateko Dia150mm silizio karburo substratua
6 hazbeteko diametroko silizio karburo (SiC) substratuaren zehaztapena
Maila | Zero MPD | Ekoizpena | Ikerketa maila | Kalifikazio faltsua |
Diametroa | 150.0mm±0.25mm | |||
Lodiera | 4H-N | 350um ± 25um | ||
4H-SI | 500um ± 25um | |||
Oblearen Orientazioa | Ardatzean: <0001>±0,5° 4H-SIrako | |||
Lehen mailako pisua | {10-10}±5.0° | |||
Lehen mailako luzera laua | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Ertz-bazterketa | 3 mm | |||
TTV/Arkua/Oihal-deformazioa | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Mikrohodien dentsitatea | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Erresistentzia 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Zimurtasuna | Poloniera Ra ≤1nm CMP Ra ≤0.5nm | |||
#Intentsitate handiko argiaren pitzadurak | Bat ere ez | 1 baimenduta, ≤2mm | Metatutako luzera ≤10mm, luzera bakarra ≤2mm | |
*Intentsitate handiko argiztapen bidezko plaka hexagonalak | Azalera metatua ≤1% | Azalera metatua ≤ % 2 | Azalera metatua ≤ % 5 | |
*Intentsitate handiko argiztapenaren bidez politipatutako eremuak | Bat ere ez | Azalera metatua ≤ % 2 | Azalera metatua ≤ % 5 | |
*Intentsitate handiko argiaren marradurak | 3 marradura oblearen diametro metatuaren luzerara 1 x | 5 marradura oblearen diametroaren luzera metatuarekin bat datorrena | 5 marradura oblearen diametroaren luzera metatuarekin bat etortzeko | |
Ertzeko txipa | Bat ere ez | 3 onartzen dira, ≤0.5mm bakoitza | 5 onartzen dira, ≤1mm bakoitza | |
Argi intentsitate handiko kutsadura | Bat ere ez
|
Salmentak eta Bezeroarentzako Arreta
Materialen Erosketa
Materialen erosketa sailak zure produktua ekoizteko beharrezkoak diren lehengai guztiak biltzeaz arduratzen da. Produktu eta material guztien trazabilitate osoa, analisi kimiko eta fisikoak barne, beti dago eskuragarri.
Kalitatea
Zure produktuak fabrikatu edo mekanizatu bitartean eta ondoren, kalitate kontrol sailak material eta tolerantzia guztiek zure zehaztapenak betetzen edo gainditzen dituztela ziurtatzen du.
Zerbitzua
Harro gaude erdieroaleen industrian 5 urte baino gehiagoko esperientzia duten salmenta-ingeniaritzako langileak izateaz. Galdera teknikoei erantzuteko eta zure beharretarako aurrekontuak garaiz emateko trebatuta daude.
Arazoren bat duzunean, zure ondoan gaude, eta 10 ordutan konponduko dugu.
Diagrama zehatza

