4 hazbeteko SiC obleak 6H erdi-isolatzaileak SiC substratuak lehen, ikerketa eta dummy kalifikazioa

4 hazbeteko SiC obleak 6H erdi-isolatzaileak SiC substratuak lehen, ikerketa eta maila finkoa Irudi nabarmendua

Deskribapen laburra:

Erdi isolatutako silizio karburoaren substratua ebaketa, artezketa, leunketa, garbiketa eta beste prozesatzeko teknologiaren bidez eratzen da silizio karburozko kristal erdi isolatua hazi ondoren. Epitaxia gisa kalitate-eskakizunak betetzen dituen substratuan geruza edo geruza anitzeko kristal-geruza hazten da, eta, ondoren, mikrouhinen RF gailua zirkuituaren diseinua eta ontziratzea konbinatuz egiten da. 2 hazbeteko 3 hazbeteko 4 hazbeteko 6 hazbeteko 8 hazbeteko kristal bakarreko silizio karburozko substratu industrial, ikerketa eta proba maila erdi isolatu gisa eskuragarri.

Bidali mezu elektronikoa

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

Produktuaren zehaztapena

Kalifikazioa			Zero MPD ekoizpen-maila (Z-maila)			Ekoizpen kalifikazio estandarra (P kalifikazioa)		Dummy kalifikazioa (D kalifikazioa)
Diametroa			99,5 mm~100,0 mm
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
Ostia Orientazioa			Ardatz kanpo: 4,0°-rantz < 1120 > ± 0,5° 4H-N-rako, Ardatzean: <0001> ± 0,5° 4H-SIrako
	4H-SI		≤1 cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Lehen mailako orientazioa		{10-10} ±5,0°
Lehen mailako luzera laua		32,5 mm±2,0 mm
Bigarren mailako Luzera Laua		18,0 mm±2,0 mm
Bigarren mailako Pisuaren Orientazioa		Silizioa gora begira: 90° CW. Prime lautik ±5,0°
Ertz-bazterketa		3 mm
LTV/TTV/Arku/Warp		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Zimurtasuna			C aurpegia				poloniarra		Ra≤1 nm
			Si aurpegia	CMP	Ra≤0,2 nm					Ra≤0,5 nm
Ertzaren pitzadurak Intentsitate handiko argiaren bidez		Bat ere ez						Luzera metatua ≤ 10 mm, bakarra luzera≤2 mm
Hex plakak Intentsitate handiko argiaren bidez		Azalera metatua ≤0,05%						Azalera metatua ≤0,1%
Politipo-eremuak Intentsitate Handiko Argiaren arabera		Bat ere ez						Azalera metatua≤% 3
Ikusizko karbono-inklusioak		Azalera metatua ≤0,05%						Azalera metatua ≤% 3
Siliziozko gainazaleko marradurak Intentsitate handiko argiaren bidez		Bat ere ez						Luzera metatua ≤1＊oblearen diametroa
Ertz Txipak Intentsitate Argiaren arabera		Ez da onartzen ≥0,2 mm-ko zabalera eta sakonera						5 onartzen dira, ≤1 mm bakoitza
Siliziozko gainazalaren kutsadura intentsitate handiko bidez		Bat ere ez
Enbalajea		Ostia anitzeko kasetea edo oblea bakarreko edukiontzia