3 hazbeteko purutasun handiko (dopatu gabeko) silizio karburozko obleak erdi-isolatzaileak Sic substratuak (HPSl)
Ezaugarriak
1. Ezaugarri fisiko eta estrukturalak
●Material mota: Silizio karburo purua (dopatu gabea) (SiC)
●Diametroa: 3 hazbete (76,2 mm)
●Lodiera: 0,33-0,5 mm, aplikazioaren beharren arabera pertsonalizagarria.
●Kristal-egitura: 4H-SiC polimoa, sare hexagonalarekin, elektroi-mugikortasun handia eta egonkortasun termikoa dituelako ezaguna.
●Orientazioa:
oEstandarra: [0001] (C planoa), aplikazio sorta zabal baterako egokia.
Aukerakoa: Gailu geruzen hazkunde epitaxiala hobetzeko ardatzetik kanpo (4° edo 8° inklinazioa).
●Lautasuna: Lodiera osoaren aldaketa (TTV) ●Gainazalaren kalitatea:
oAkats-dentsitate txikia lortzeko leundua (<10/cm² mikrohodi-dentsitatea). 2. Ezaugarri elektrikoak ●Erresistentzia: >109^99 Ω·cm, nahitako dopanteak ezabatuz mantendua.
●Indar dielektrikoa: Tentsio handiko erresistentzia, galera dielektriko minimoekin, potentzia handiko aplikazioetarako aproposa.
●Eroankortasun termikoa: 3,5-4,9 W/cm·K, errendimendu handiko gailuetan beroa modu eraginkorrean xahutzea ahalbidetuz.
3. Ezaugarri termiko eta mekanikoak
● Banda-tarte zabala: 3,26 eV, tentsio handiko, tenperatura handiko eta erradiazio handiko baldintzetan funtzionatzea ahalbidetzen duena.
●Gogortasuna: Mohs eskala 9, prozesamenduan zehar higadura mekanikoaren aurkako sendotasuna bermatuz.
●Hedapen Termikoaren Koefizientea: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, tenperatura aldaketen aurrean dimentsio-egonkortasuna bermatuz.
Parametroa | Ekoizpen Maila | Ikerketa maila | Kalifikazio faltsua | Unitatea |
Maila | Ekoizpen Maila | Ikerketa maila | Kalifikazio faltsua | |
Diametroa | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Lodiera | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Oblearen Orientazioa | Ardatzean: <0001> ± 0,5° | Ardatzean: <0001> ± 2.0° | Ardatzean: <0001> ± 2.0° | gradu |
Mikrohodiaren dentsitatea (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Erresistentzia elektrikoa | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dopantea | Dopatu gabe | Dopatu gabe | Dopatu gabe | |
Orientazio laua nagusia | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | gradu |
Lehen mailako luzera laua | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Bigarren mailako luzera laua | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Bigarren mailako orientazio laua | 90° eskuinera eta ezkerreko noranzkoan lehen mailako lautik ± 5.0° | 90° eskuinera eta ezkerreko noranzkoan lehen mailako lautik ± 5.0° | 90° eskuinera eta ezkerreko noranzkoan lehen mailako lautik ± 5.0° | gradu |
Ertz-bazterketa | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Arkua/Deformazioa | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
Gainazaleko zimurtasuna | Si-aurpegia: CMP, C-aurpegia: Leundua | Si-aurpegia: CMP, C-aurpegia: Leundua | Si-aurpegia: CMP, C-aurpegia: Leundua | |
Pitzadurak (Intentsitate Handiko Argia) | Bat ere ez | Bat ere ez | Bat ere ez | |
Hex Plakak (Intentsitate Handiko Argia) | Bat ere ez | Bat ere ez | Azalera metatua % 10 | % |
Politipo Eremuak (Intentsitate Handiko Argia) | % 5eko azalera metatua | Azalera metatua % 20 | Azalera metatua % 30 | % |
Marradurak (Intentsitate Handiko Argia) | ≤ 5 marradura, metatutako luzera ≤ 150 | ≤ 10 marradura, metatutako luzera ≤ 200 | ≤ 10 marradura, metatutako luzera ≤ 200 | mm |
Ertz-txirbilketa | Bat ere ez ≥ 0,5 mm zabalera/sakonera | 2 baimenduta ≤ 1 mm zabalera/sakonera | 5 baimenduta ≤ 5 mm zabalera/sakonera | mm |
Gainazaleko kutsadura | Bat ere ez | Bat ere ez | Bat ere ez |
Aplikazioak
1. Potentzia Elektronika
HPSI SiC substratuen banda-tarte zabalak eta eroankortasun termiko handiak aproposak bihurtzen dituzte muturreko baldintzetan funtzionatzen duten potentzia-gailuetarako, hala nola:
● Goi-tentsioko gailuak: MOSFETak, IGBTak eta Schottky barrera-diodoak (SBD) barne, potentzia-bihurketa eraginkorrerako.
●Energia Berriztagarrien Sistemak: Esaterako, eguzki-inbertsoreak eta haize-erroten kontrolagailuak.
●Ibilgailu elektrikoak (IE): Inbertsoreetan, kargagailuetan eta potentzia-tren sistemetan erabiltzen dira eraginkortasuna hobetzeko eta tamaina murrizteko.
2. RF eta mikrouhinen aplikazioak
HPSI obleen erresistentzia handia eta galera dielektriko txikiak ezinbestekoak dira irrati-maiztasuneko (RF) eta mikrouhin-sistemetarako, besteak beste:
●Telekomunikazio Azpiegitura: 5G sareetarako eta satelite bidezko komunikazioetarako oinarrizko estazioak.
●Aeroespaziala eta Defentsa: Radar sistemak, phased-array antenak eta abionika osagaiak.
3. Optoelektronika
4H-SiC-ren gardentasunak eta banda-tarte zabalak gailu optoelektronikoetan erabiltzea ahalbidetzen dute, hala nola:
●UV fotodetektagailuak: ingurumen-monitorizaziorako eta diagnostiko medikoetarako.
● Potentzia handiko LEDak: Egoera solidoko argiztapen-sistemak onartzen dituzte.
●Laser diodoak: Industria eta medikuntza aplikazioetarako.
4. Ikerketa eta Garapena
HPSI SiC substratuak oso erabiliak dira I+G laborategi akademiko eta industrialean, materialen propietate aurreratuak aztertzeko eta gailuen fabrikazioa egiteko, besteak beste:
●Epitaxial Geruza Hazkundea: Akatsen murrizketa eta geruzen optimizazioari buruzko ikerketak.
●Garraiatzaileen Mugikortasun Azterketak: Elektroi eta zuloen garraioaren ikerketa purutasun handiko materialetan.
●Prototipoak egitea: Gailu eta zirkuitu berrien hasierako garapena.
Abantailak
Kalitate Gorena:
Purutasun handiak eta akatsen dentsitate txikiak plataforma fidagarria eskaintzen dute aplikazio aurreratuetarako.
Egonkortasun termikoa:
Beroa xahutzeko propietate bikainak gailuei potentzia eta tenperatura handiko baldintzetan eraginkortasunez funtzionatzea ahalbidetzen diete.
Bateragarritasun zabala:
Eskuragarri dauden orientazioek eta lodiera pertsonalizatuen aukerek gailuaren hainbat eskakizunetarako egokitzapena bermatzen dute.
Iraunkortasuna:
Gogortasun eta egitura-egonkortasun bikainak higadura eta deformazioa minimizatzen dituzte prozesatzeko eta funtzionatzeko prozesuan.
Malgutasuna:
Industria askotarako egokia, energia berriztagarrietatik hasi eta aeroespazial eta telekomunikazioetaraino.
Ondorioa
3 hazbeteko Purutasun Handiko Erdi-Isolatzaile Silizio Karburozko oblea substratu-teknologiaren gailurra da potentzia handiko, maiztasun handiko eta optoelektroniko gailuetarako. Bere propietate termiko, elektriko eta mekaniko bikainen konbinazioak errendimendu fidagarria bermatzen du ingurune zailetan. Potentzia elektronikatik eta RF sistemetatik hasi eta optoelektronikara eta I+G aurreraturaino, HPSI substratu hauek etorkizuneko berrikuntzen oinarria dira.
Informazio gehiago lortzeko edo eskaera bat egiteko, jarri gurekin harremanetan. Gure talde teknikoa eskuragarri dago zure beharretara egokitutako orientazioa eta pertsonalizazio aukerak eskaintzeko.
Diagrama zehatza



