12 hazbeteko SIC Substratu Silicon Carbide Prime Kalifikazioaren diametroa 300mm Tamaina handia 4h-N egokia da potentzia handiko gailuak bero disipaziorako
Produktuaren ezaugarriak
1. Erosketa termiko altua: Silizio karburoaren eroankortasun termikoa silizioaren 3 aldiz baino gehiago da, eta hori egokia da potentzia handiko gailuaren berri emateko.
2. Matxura handiko eremuko indarra: matxuraren eremuaren indarra silizioaren 10 aldiz da, presio handiko aplikazioetarako egokia.
3. BI BANDGAP: Bandgap 3.26ev da (4h-SIC), tenperatura altu eta maiztasun handiko aplikazioetarako egokia da.
4. Gogortasun handia: Mohs gogortasuna 9,2 da, bigarren diamanteari soilik, higadura erresistentzia bikaina eta indar mekanikoa.
5. Egonkortasun kimikoa: korrosioarekiko erresistentzia gogorra, errendimendu egonkorra tenperatura altuan eta ingurune gogorrean.
6. Tamaina handia: 12 hazbeteko (300mm) substratu, ekoizpenaren eraginkortasuna hobetu, unitatearen kostua murriztu.
7. Babeskoaren dentsitatea: Kalitate handiko kristal hazkunde teknologia bakarra akats txikiko dentsitatea eta koherentzia handia bermatzeko.
Produktuaren aplikazioaren norabide nagusia
1. Potentzia elektronika:
MOSFETS: ibilgailu elektrikoetan, motor unitate industrialetan eta potentzia bihurgailuetan erabiltzen da.
Diodoak: esaterako, Schottky diodoak (SBD), zuzenketa eraginkorra eta pizteko hornidura eraginkorrak egiteko erabiltzen da.
2. RF gailuak:
RF Potentzia anplifikadorea: 5G komunikazio base geltokietan eta satelite bidezko komunikazioetan erabiltzen da.
Mikrouhin gailuak: radar eta haririk gabeko komunikazio sistemetarako egokia.
3. Energia ibilgailu berriak:
Unitate elektrikoko sistemak: ibilgailu elektrikoetarako kontrolagailu motorrak eta inbertsoreak.
Kargatzeko pila: kargatzeko ekipo azkarreko potentzia modulua.
4. Aplikazio industrialak:
Tentsio handiko inbertsorea: motor kontrol industrialaren eta energiaren kudeaketarako.
Smart Grid: HVDC transmisiorako eta potentzia elektronikaren transformadoreentzat.
5. Aeroespaziala:
Tenperatura altuko elektronika: ekipamendu aeroespazialaren tenperatura handiko inguruneetarako egokia.
6. Ikerketa eremua:
Bandgap erdieroaleen ikerketa zabala: Memoria eta gailu erdieroale berriak garatzeko.
12 hazbeteko silikoko karburo substratua errendimendu handiko erdieroaleen substratua da, hala nola eroankortasun termiko altua, matxura handiko eremuko indarra eta banda zabaleko hutsunea. Oso erabilia da potentzia elektronikan, irrati maiztasuneko gailuetan, energia-ibilgailu berrietan, kontrol industrial eta aeroespazialean, eta funtsezko materiala da gailu elektroniko eraginkor eta altuko gailu eraginkorren garapena sustatzeko.
Silizio karburo substratuek gaur egun, Consumer Electronics-en, hala nola, B betaurrekoak, potentzialaren kudeaketa eraginkorrean eta elektronika miniaturatuetan duten potentzialek etorkizuneko Ar / VR gailuetarako errendimendu handiko energia hornitzeko irtenbideak izan ditzakete. Gaur egun, Silicon Carbide substratuaren garapen nagusia industria-arloetan kontzentratzen da, hala nola, energia-ibilgailu berriak, komunikazio azpiegiturak eta industria automatizazioa, eta erdieroaleen industria norabide eraginkorrago eta fidagarriagoan garatzeko sustatzen du.
Xkh-k konpromisoa hartu du kalitate handiko 12 "SIC substratuak laguntza tekniko eta zerbitzu integralekin, besteak beste:
1. Ekoizpen pertsonalizatua: bezeroaren arabera erresistentzia, kristal orientazioa eta gainazaleko tratamendu substratua eman behar da.
2. Prozesuen optimizazioa: EPITAXIAL HAZKUNTZA, Gailuaren Fabrikazioa eta Produktuen Errendimendua hobetzeko beste prozesu batzuetako bezeroei eman bezeroei.
3. Proba eta ziurtagiria: akatsak hautemateko eta kalitate ziurtagiria eskaintzea substratuak industriako estandarrak betetzen dituela ziurtatzeko.
4.R & D lankidetza: Silizio karburo gailu berriak batera garatzea bezeroekin berrikuntza teknologikoa sustatzeko.
Datuen taula
1 2 hazbeteko silizio karburoa (sic) substratuaren zehaztapena | |||||
Mailakatu | Zeromp produkzioa Kalifikazioa (Z maila) | Ekoizpen estandarra Kalifikazioa (P kalifikazioa) | Dummy Kalifikazioa (D kalifikazioa) | ||
Diametro | 3 0 0 mm ~ 1305mm | ||||
Loditasun | 4h-n | 750μm ± 15 μm | 750μm ± 25 μm | ||
4h-si | 750μm ± 15 μm | 750μm ± 25 μm | |||
Wafer Orientazioa | Off ardatza: 4,0 ° aldera <1120> ± 0,5 ° 4h-N-rako, ardatzean: <0001> ± 4h-si | ||||
MikroPipe dentsitatea | 4h-n | ≤0.4cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4h-si | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Erresistentzia | 4h-n | 0,015 ~ 0,024 ω · cm | 0,015 ~ 0,028 ω · cm | ||
4h-si | ≥1e10 ω · cm | ≥1e5 ω · cm | |||
Lehen orientazio nagusia | {10-10} ± 5,0 ° | ||||
Luzera laua | 4h-n | N / a | |||
4h-si | Nottxi | ||||
Ertzaren bazterketa | 3 mm | ||||
LTV / TTV / BOW / WARP | ≤5μm / ≤15μm / ≤35 μm / ≤55 μm | ≤5μm / ≤15μm / ≤35 □ μm / ≤55 □ μm | |||
Zakartasun | Poloniako ra≤1 nm | ||||
Cmp ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Ertzetako pitzadurak intentsitate handiko argiaren bidez Hex Plakak intentsitate handiko argiaren arabera Intentsitate handiko argiaren bidez polifikatzeko guneak Karbono bisualaren inklusioak Silikonaren gainazaleko marradurak intentsitate handiko argiaren bidez | Ezein ez Eremu metagarria ≤0,05% Ezein ez Eremu metagarria ≤0,05% Ezein ez | Luzera metagarria ≤ 20 mm, luzera bakarrekoa2 mm Gune metatiboa ≤0,1% METALAZIOA %3% Eremu metagarria% ≤3 Luzera metagarria1 × wafer diametroa | |||
Edge patatak intentsitate handiko argiaren arabera | Ez da baimendu ≥0,2mm Zabalera eta sakonera | 7 baimenduta, ≤1 mm bakoitza | |||
(TSD) Torloju dislokazioa | ≤500 cm-2 | N / a | |||
(BPD) base planoaren dislokazioa | ≤1000 cm-2 | N / a | |||
Silizioaren gainazaleko kutsadura intentsitate handiko argiaren bidez | Ezein ez | ||||
Ontziagailu | Wafer anitzeko kasetea edo wafer ontzia | ||||
Oharrak: | |||||
1 akats mugak aplikatzen dira wafer azalera osorako, ertz bazterketa eremua izan ezik. 2 Marradurak SI aurpegian bakarrik egiaztatu behar dira. 3 Dislokazio datuak KOH Etched Wafers-enak baino ez dira. |
Xkh-ek ikerketan eta garapenean inbertitzen jarraituko du tamaina handian, akats txikietan eta koherentzia handiko 12 hazbeteko silikoko substratuen aurrerapena sustatzeko, XKH-k bere aplikazioak esploratzen ditu, hala nola, kontsumitzaileen elektronika (adibidez, Ar / VR gailuentzako potentzia moduluak) eta informatika kuantikoetan. Kostuak murriztuz eta gaitasuna handituz, Xkh-k oparotasuna ekarriko du erdieroaleen industriara.
Diagrama zehatza


