12 hazbeteko SIC substratua silizio karburozko kalitate goreneko 300 mm-ko diametrokoa, tamaina handikoa 4H-N, potentzia handiko gailuen beroa xahutzeko egokia
Produktuaren ezaugarriak
1. Eroankortasun termiko handia: silizio karburoaren eroankortasun termikoa silizioarena baino 3 aldiz handiagoa da, eta hori egokia da potentzia handiko gailuen beroa xahutzeko.
2. Matxura-eremuaren indarra handia: Matxura-eremuaren indarra silizioarena baino 10 aldiz handiagoa da, presio handiko aplikazioetarako egokia.
3. Banda-tarte zabala: Banda-tartea 3,26 eV-koa da (4H-SiC), tenperatura altuko eta maiztasun altuko aplikazioetarako egokia.
4. Gogortasun handia: Mohs gogortasuna 9,2koa da, diamantearen atzetik bigarrena, higadura-erresistentzia eta erresistentzia mekaniko bikaina.
5. Egonkortasun kimikoa: korrosioarekiko erresistentzia handia, errendimendu egonkorra tenperatura altuetan eta ingurune gogorretan.
6. Tamaina handia: 12 hazbeteko (300 mm) substratua, ekoizpen-eraginkortasuna hobetzen du, unitateko kostua murrizten du.
7. Akatsen dentsitate baxua: kristal bakarreko hazkuntza-teknologia kalitate handikoa akatsen dentsitate baxua eta koherentzia handia bermatzeko.
Produktuaren aplikazio nagusiaren norabidea
1. Potentzia elektronika:
MOSFETAK: Ibilgailu elektrikoetan, industria-motorren unitateetan eta potentzia-bihurgailuetan erabiltzen dira.
Diodoak: Schottky diodoak (SBD) bezalakoak, zuzenketa eraginkorrerako eta elikatze-iturri kommutaziorako erabiltzen direnak.
2. Irrati-maiztasuneko gailuak:
RF potentzia anplifikadorea: 5G komunikazio estazio baseetan eta satelite bidezko komunikazioetan erabiltzen da.
Mikrouhin-gailuak: Radar eta haririk gabeko komunikazio sistemetarako egokiak.
3. Energia berriko ibilgailuak:
Ibilgailu elektrikoentzako trakzio-sistemak: motor-kontrolagailuak eta inbertsoreak.
Kargatzeko pila: Karga azkarreko ekipoentzako potentzia-modulua.
4. Aplikazio industrialak:
Goi-tentsioko inbertsoreak: industria-motorren kontrolerako eta energia kudeatzeko.
Sare adimenduna: HVDC transmisio eta potentzia elektronikako transformadoreetarako.
5. Aire eta espazioa:
Tenperatura altuko elektronika: egokia da aireontzien ekipamenduen tenperatura altuko inguruneetarako.
6. Ikerketa arloa:
Banda-tarte zabaleko erdieroaleen ikerketa: erdieroale material eta gailu berriak garatzeko.
12 hazbeteko silizio karburozko substratua errendimendu handiko erdieroale material substratu mota bat da, eroankortasun termiko handia, haustura-eremuaren intentsitate handia eta banda-tarte zabala bezalako propietate bikainak dituena. Potentzia elektronikan, irrati-maiztasuneko gailuetan, energia berrietako ibilgailuetan, industria-kontrolean eta aeroespazialean oso erabilia da, eta hurrengo belaunaldiko gailu elektroniko eraginkor eta potentzia handikoen garapena sustatzeko funtsezko materiala da.
Silizio karburozko substratuek gaur egun aplikazio zuzen gutxiago dituzten arren kontsumo-elektronikan, hala nola AR betaurrekoetan, energia-kudeaketa eraginkorrean eta elektronika miniaturizatuan duten potentzialak etorkizuneko AR/VR gailuetarako elikatze-iturri arin eta errendimendu handiko irtenbideak lagun ditzake. Gaur egun, silizio karburozko substratuaren garapen nagusia energia berriko ibilgailuetan, komunikazio-azpiegituretan eta industria-automatizazioan bezalako industria-arloetan kontzentratzen da, eta erdieroaleen industria norabide eraginkorrago eta fidagarriago batean garatzea sustatzen du.
XKH-k 12"-ko SIC substratu kalitate handikoak eskaintzeko konpromisoa hartu du, laguntza tekniko eta zerbitzu integralekin, besteak beste:
1. Ekoizpen pertsonalizatua: bezeroaren beharren arabera, erresistentzia, kristalen orientazio eta gainazaleko tratamendu substratu desberdinak eman behar dira.
2. Prozesuen optimizazioa: Bezeroei produktuaren errendimendua hobetzeko epitaxial hazkuntza, gailuen fabrikazioa eta beste prozesu batzuetarako laguntza teknikoa eman.
3. Probak eta ziurtagiriak: Akatsen detekzio zorrotza eta kalitate-ziurtagiria eskaintzea substratuak industria-arauak betetzen dituela ziurtatzeko.
4. I+G lankidetza: Silizio karburozko gailu berriak bezeroekin batera garatu berrikuntza teknologikoa sustatzeko.
Datu-diagrama
1 2 hazbeteko silizio karburozko (SiC) substratuaren zehaztapena | |||||
Maila | ZeroMPD Ekoizpena Maila (Z Maila) | Ekoizpen Estandarra Maila (P Maila) | Kalifikazio faltsua (D Maila) | ||
Diametroa | 300 mm~305 mm | ||||
Lodiera | 4H-N | 750 μm ± 15 μm | 750 μm ± 25 μm | ||
4H-SI | 750 μm ± 15 μm | 750 μm ± 25 μm | |||
Oblearen Orientazioa | Ardatzetik kanpo: 4.0° <1120 >±0.5° aldera 4H-N-rako, Ardatzean: <0001>±0.5° 4H-SI-rako | ||||
Mikrohodien dentsitatea | 4H-N | ≤0.4cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Erresistentzia | 4H-N | 0,015~0,024 Ω·cm | 0,015~0,028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Orientazio laua nagusia | {10-10} ±5,0° | ||||
Lehen mailako luzera laua | 4H-N | E/G | |||
4H-SI | Koska | ||||
Ertz-bazterketa | 3 mm | ||||
LTV/TTV/Arkua /Oihal-deformazioa | ≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
Zimurtasuna | Poloniako Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Intentsitate handiko argiaren ertz-pitzadurak Hex plakak intentsitate handiko argiaren bidez Intentsitate handiko argiaren bidezko politipo eremuak Karbono inklusio bisualak Siliziozko gainazaleko marradurak intentsitate handiko argiaren ondorioz | Bat ere ez Azalera metatua ≤0,05% Bat ere ez Azalera metatua ≤0,05% Bat ere ez | Metatutako luzera ≤ 20 mm, luzera bakarra ≤ 2 mm Azalera metatua ≤0,1% Azalera metatua ≤ %3 Azalera metatua ≤3% Metatutako luzera ≤1 × oblearen diametroa | |||
Ertz-txipak intentsitate handiko argiaren bidez | Ez da onartzen ≥0.2mm zabalera eta sakonera | 7 onartzen dira, ≤1 mm bakoitza | |||
(TSD) Hariztatzeko torlojuaren deslokazioa | ≤500 cm-2 | E/G | |||
(BPD) Oinarrizko planoaren dislokazioa | ≤1000 cm-2 | E/G | |||
Siliziozko gainazalaren kutsadura intentsitate handiko argiaren bidez | Bat ere ez | ||||
Ontziratzea | Oblea anitzeko kasetea edo oblea bakarreko edukiontzia | ||||
Oharrak: | |||||
1 Akatsen mugak oblearen gainazal osoari aplikatzen zaizkio, ertz-bazterketa eremua izan ezik. 2Marradurak Si aurpegian bakarrik egiaztatu behar dira. 3 Dislokazio-datuak KOHz grabatutako obleetatik soilik datoz. |
XKHk ikerketan eta garapenean inbertitzen jarraituko du 12 hazbeteko silizio karburozko substratuen aurrerapena sustatzeko, tamaina handikoak, akats gutxikoak eta koherentzia handikoak, eta XKHk, berriz, kontsumo-elektronikako (AR/VR gailuetarako potentzia-moduluak, adibidez) eta konputazio kuantikoa bezalako arlo emergenteetan dituen aplikazioak aztertzen ditu. Kostuak murriztuz eta edukiera handituz, XKHk oparotasuna ekarriko dio erdieroaleen industriari.
Diagrama zehatza


