Zafiro grabatutako oblea heze eta lehorreko grabatzeko irtenbideak

Deskribapen laburra:

Zafiro grabatutako obleak kristal bakarreko zafiro (Al₂O₃) substratu puruekin fabrikatzen dira, grabatu heze eta lehorreko teknologiekin konbinatutako fotolitografia aurreratuaren bidez prozesatuta. Produktuek mikroegitura-eredu oso uniformeak, zehaztasun dimentsional bikaina eta egonkortasun fisiko eta kimiko bikaina dituzte, eta horrek mikroelektronikan, optoelektronikan, erdieroaleen ontziratzean eta ikerketa-arlo aurreratuetan fidagarritasun handiko aplikazioetarako egokiak bihurtzen ditu.

Bidali mezu elektroniko bat guregana

Ezaugarriak

Diagrama zehatza

Zafiro grabatutako oblea heze eta lehorreko grabatzeko irtenbideak

Produktuaren aurkezpena

Zafiro grabatutako obleak zafiro monokristal (Al₂O₃) substratu puruekin fabrikatzen dira, fotolitografia aurreratuaren bidez konbinatuta prozesatu direnak.grabatu hezea eta grabatu lehorra teknologiakProduktuek mikroegitura-eredu oso uniformeak, zehaztasun dimentsional bikaina eta egonkortasun fisiko eta kimiko bikaina dituzte, eta horrek mikroelektronikan, optoelektronikan, erdieroaleen ontziratzean eta ikerketa-arlo aurreratuetan fidagarritasun handiko aplikazioetarako egokiak bihurtzen ditu.

Zafiroa bere gogortasun eta egitura-egonkortasun apartekoagatik da ezaguna, 9ko Mohs gogortasunarekin, diamantearen atzetik bigarrena. Grabatzeko parametroak zehaztasunez kontrolatuz, ondo definitutako eta errepikagarriak diren mikroegitura-egitura sor daitezke zafiroaren gainazalean, ertz zorrotzak, geometria egonkorra eta multzoen arteko koherentzia bikaina bermatuz.

Grabatu Teknologiak

Grabatu hezea

Grabatu hezeak zafiro materiala selektiboki kentzeko eta nahi diren mikroegiturak eratzeko soluzio kimiko espezializatuak erabiltzen ditu. Prozesu honek errendimendu handia, uniformetasun ona eta prozesatzeko kostu nahiko baxua eskaintzen ditu, eremu handiko ereduetarako eta alboko horma-profilaren eskakizun moderatuak dituzten aplikazioetarako egokia bihurtuz.

Disoluzioaren konposizioa, tenperatura eta grabatze-denbora zehaztasunez kontrolatuz, grabatze-sakoneraren eta gainazaleko morfologiaren kontrol egonkorra lor daiteke. Hezetasunez grabatutako zafiro-obleak oso erabiliak dira LED ontziratze-substratuetan, euskarri-geruza estrukturaletan eta MEMS aplikazio hautatuetan.

Grabatu lehorra

Grabatu lehorrak, hala nola plasma bidezko grabatuak edo ioi erreaktiboen bidezko grabatuak (RIE), energia handiko ioiak edo espezie erreaktiboak erabiltzen ditu zafiroa mekanismo fisiko eta kimikoen bidez grabatzeko. Metodo honek anisotropia bikaina, zehaztasun handia eta ereduen transferentzia gaitasun bikaina eskaintzen ditu, ezaugarri finak eta alderdi-erlazio handiko mikroegiturak fabrikatzea ahalbidetuz.

Grabatu lehorra bereziki egokia da alboko horma bertikalak, ezaugarrien definizio zorrotza eta dimentsio-kontrol zorrotza behar dituzten aplikazioetarako, hala nola Mikro-LED gailuetarako, erdieroaleen ontziratze aurreratuetarako eta errendimendu handiko MEMS egituretarako.

Ezaugarri eta abantaila nagusiak

Erresistentzia mekaniko bikaina duen zafiro monokristalezko substratu purua
Prozesu aukera malguak: grabatu hezea edo grabatu lehorra aplikazioaren beharren arabera
Gogortasun eta higadura-erresistentzia handia epe luzerako fidagarritasunerako
Egonkortasun termiko eta kimiko bikaina, ingurune gogorretarako egokia
Gardentasun optiko handia eta propietate dielektriko egonkorrak
Eredu-uniformetasun handia eta lote batetik bestera koherentzia

Aplikazioak

LED eta Mikro-LED ontziak eta probak egiteko substratuak
Erdieroale txiparen eramaileak eta ontziratze aurreratua
MEMS sentsoreak eta sistema mikroelektromekanikoak
Osagai optikoak eta zehaztasun-lerrokatze egiturak
Ikerketa institutuak eta neurrira egindako mikroegitura garapena

Pertsonalizazioa eta Zerbitzuak

Pertsonalizazio zerbitzu integralak eskaintzen ditugu, besteak beste, ereduen diseinua, grabatzeko metodoaren hautaketa (hezea edo lehorra), grabatzeko sakoneraren kontrola, substratuaren lodiera eta tamaina aukerak, alde bakarreko edo bi aldeetako grabatzea eta gainazalaren leuntze mailak. Kalitate kontrol eta ikuskapen prozedura zorrotzek ziurtatzen dute zafiro grabatutako oblea bakoitzak fidagarritasun eta errendimendu estandar altuak betetzen dituela entregatu aurretik.

Maiz egiten diren galderak – Maiz egiten diren galderak

1. galdera: Zein da zafiroaren grabatu hezearen eta grabatu lehorraren arteko aldea?

A:Grabatu hezea erreakzio kimikoetan oinarritzen da eta egokia da eremu handiko eta kostu-eraginkorreko prozesamendurako, grabatu lehorrak, berriz, plasma edo ioietan oinarritutako teknikak erabiltzen ditu zehaztasun handiagoa, anisotropia hobea eta ezaugarrien kontrol finagoa lortzeko. Aukera egitura-konplexutasunaren, zehaztasun-eskakizunen eta kostu-kontuetan oinarritzen da.

2.G: Zein grabatu-prozesu aukeratu behar dut nire aplikaziorako?

A:Grabatu hezea gomendatzen da zehaztasun ertaineko eredu uniformeak behar dituzten aplikazioetarako, hala nola LED substratu estandarrak. Grabatu lehorra egokiagoa da bereizmen handiko, alderdi-erlazio handiko edo Mikro-LED eta MEMS aplikazioetarako, non geometria zehatza funtsezkoa den.

3.G: Onar al ditzakezu neurrira egindako ereduak eta zehaztapenak?

A:Bai. Diseinu guztiz pertsonalizatuak onartzen ditugu, besteak beste, ereduaren diseinua, ezaugarrien tamaina, grabatzeko sakonera, oblearen lodiera eta substratuaren neurriak.

Guri buruz

XKH beira optiko berezien eta kristal material berrien garapen, ekoizpen eta salmenta teknologiko aurreratuan espezializatuta dago. Gure produktuak elektronika optikorako, kontsumo elektronikarako eta armadarako balio dute. Zafiro osagai optikoak, telefono mugikorren lenteen estalkiak, zeramika, LT, silizio karburo SIC, kuartzoa eta erdieroale kristalezko obleak eskaintzen ditugu. Esperientzia trebea eta punta-puntako ekipamendua ditugunez, produktu ez-estandarren prozesamenduan nabarmentzen gara, optoelektroniko materialetan goi-mailako teknologiako enpresa liderra izateko helburuarekin.