Edukien taula
1. FOUPen ikuspegi orokorra eta funtzio nagusiak
2. FOUPen egitura eta diseinu ezaugarriak
3. FOUPen sailkapen eta aplikazio jarraibideak
4. FOUPen eragiketak eta garrantzia erdieroaleen fabrikazioan
5. Erronka teknikoak eta etorkizuneko garapen-joerak
6.XKHren neurrira egindako irtenbideak eta zerbitzu-laguntza
Erdieroaleen fabrikazio prozesuan, Aurrealdeko Irekitze Bateratuko Pod-a (FOUP) obleak babesteko, garraiatzeko eta gordetzeko erabiltzen den ontzi kritikoa da. Barrualdean 300 mm-ko 25 oblea gorde ditzake, eta osagai nagusien artean, aurrealdea irekitzen den ontzi bat eta irekitzeko eta ixteko ate-marko dedikatu bat daude. FOUP 12 hazbeteko oblea-fabriken barruko garraio-sistema automatizatuan dagoen nukleo-eramaile bat da. Normalean itxita garraiatzen da eta ekipamenduaren kargatzeko atakara bultzatzen denean bakarrik irekitzen da, obleak ekipamenduaren kargatzeko/deskargatzeko atakara transferitzeko aukera emanez.
FOUParen diseinua mikroingurunearen eskakizunetara egokituta dago. Atzealdean zirrikituak ditu obleak sartzeko, eta estalkia bereziki diseinatuta dago irekitzailearen pintzara egokitzeko. Obleak maneiatzen dituzten robotak 1. klaseko aire garbiko ingurune batean funtzionatzen dute, obleak ez direla kutsatuko transmisioan zehar bermatuz. Gainera, FOUPa prozesu-tresnen artean mugitzen da materialen manipulazio sistema automatizatu baten (AMHS) bidez. Oblea-fabrika modernoek gehienbat goiko trenbide-sistemak erabiltzen dituzte garraiorako, eta fabrika zahar batzuek lurreko ibilgailu gidatu automatizatuak (AGV) erabil ditzakete.
FOUPak ez ditu obleen transferentzia automatizatuak ahalbidetzen bakarrik, biltegiratze funtzioa ere betetzen du. Fabrikazio-urrats ugari direla eta, obleek hilabeteak behar izan ditzakete prozesu osoa osatzeko. Hileroko ekoizpen-bolumen handiekin batera, horrek esan nahi du fabrika bateko hamar milaka oblea etengabe daudela garraioan edo aldi baterako biltegiratzean edozein unetan. Biltegiratzean, FOUPak aldian-aldian nitrogenoarekin garbitzen dira kutsatzaileak obleekin kontaktuan ez egoteko, ekoizpen-prozesu garbi eta fidagarria bermatuz.
1. FOUPen funtzioak eta garrantzia
FOUP-aren funtzio nagusia obleak kanpoko kolpeetatik eta kutsaduratik babestea da, batez ere transferentzian zehar errendimenduan eragina izatea saihestuz. Hezetasuna eraginkortasunez saihesten du gas-purgaketa eta Tokiko Atmosfera Kontrola (LAC) bezalako metodoen bidez, obleak egoera seguruan mantentzen direla ziurtatuz hurrengo fabrikazio-urratsaren zain dauden bitartean. Bere sistema zigilatu eta kontrolatuak beharrezko konposatuak eta elementuak soilik sartzen uzten ditu, COV-ek, oxigenoak eta hezetasunak obletan dituzten eragin kaltegarriak nabarmen murriztuz.
25 obleak dituen FOUP batek 9 kilogramo arteko pisua izan dezakeenez, haren garraioa Materialen Manipulazio Sistema Automatizatu baten (AMHS) menpe egon behar da. Horretarako, FOUP akoplamendu plaken, pinen eta zuloen hainbat konbinaziorekin diseinatuta dago, eta RFID etiketa elektronikoekin hornituta dago, erraz identifikatzeko eta sailkatzeko. Manipulazio automatizatu honek ia ez du eskuzko eragiketarik behar, errore-tasak asko murrizten ditu eta fabrikazio-prozesuaren segurtasuna eta zehaztasuna hobetzen ditu.
2. FOUPen egitura eta sailkapena
FOUP baten neurri tipikoak gutxi gorabehera 420 mm zabal, 335 mm sakon eta 335 mm altu dira. Bere egitura-osagai nagusien artean daude: goiko OHT (perretxiko-burua) gaineko garabigailua garraiatzeko; aurreko atea ekipamenduaren obleetara sartzeko; alboko heldulekuak, askotan kolore-kodetuak kutsadura-maila desberdinak dituzten prozesu-eremuak bereizteko; txartel-eremu bat mezu-txartelak jartzeko; eta beheko RFID etiketa bat, FOUParen identifikatzaile bakar gisa balio duena, tresnek eta gaineko garabigailuek hura ezagutzea ahalbidetuz. Oinarriak lau identifikazio- eta kokapen-zulo ere baditu, tresnekin bat etortzeko eta prozesu-eremuak bereizteko.
Erabileraren arabera, FOUPak hiru motatan sailkatzen dira: PRD (ekoizpenerako), ENG (ingeniaritza-obleetarako) eta MON (monitore-obleetarako). PRD FOUPak produktuen fabrikaziorako erabil daitezke, ENG motak I+G edo esperimentuetarako egokiak dira, eta MON motak CMP eta DIFF bezalako urratsetarako prozesuen monitorizaziorako dira. Garrantzitsua da kontuan izatea PRD FOUPak ENG eta MON helburuetarako erabil daitezkeela, eta ENG motak MONerako erabil daitezkeela, baina alderantzizko eragiketak kalitate-arriskuak dakartza.
Kutsadura-mailaren arabera sailkatuta, FOUPak honela bana daitezke: FE FOUP (aurrealdeko prozesua, metalik gabekoa), BE FOUP (atzealdeko prozesua, metala duena) eta metal-prozesu espezifikoetarako espezializatutakoak, hala nola NI FOUP, CU FOUP eta CO FOUP. Prozesu ezberdinetarako FOUPak normalean alboko heldulekuen edo ate-panelen kolorearen arabera bereizten dira. Aurrealdeko prozesuetako FOUPak atzealdeko prozesuetan erabil daitezke, baina atzealdeko FOUPak ez dira inoiz aurrealdeko prozesuetan erabili behar, kutsadura-arriskuak sor bailituzke.
Erdieroaleen fabrikazioan funtsezko garraiolari gisa, FOUPek, automatizazio handiaren eta kutsaduraren kontrol zorrotzaren bidez, obleen segurtasuna eta garbitasuna bermatzen ditu ekoizpen prozesuan zehar, eta horrek ezinbesteko azpiegitura bihurtzen du obleen fabrika modernoetan.
Ondorioa
XKH-k bezeroei Aurrealdeko Irekitze Bateratuko Pod (FOUP) irtenbide oso pertsonalizatuak eskaintzeko konpromisoa hartu du, zure prozesu-eskakizun espezifikoak eta ekipamenduen interfazearen zehaztapenak zorrotz betez. Materialen teknologia aurreratua eta fabrikazio-prozesu zehatzak aprobetxatuz, ziurtatzen dugu FOUP produktu bakoitzak hermetikotasun, garbitasun eta egonkortasun mekaniko bikaina eskaintzen duela. Gure talde teknikoak industria-espezializazio sakona du, bizi-ziklo osoko laguntza eskainiz —hautaketa-kontsultatik eta egitura-optimizaziotik hasi eta garbiketa eta mantentze-lanetaraino—, FOUParen eta zure Materialen Manipulazio Sistema Automatizatuaren (AMHS) eta prozesatzeko ekipamenduen arteko integrazio ezin hobea eta lankidetza eraginkorra bermatuz. Obleen segurtasuna eta ekoizpen-errendimenduaren hobekuntza lehenesten ditugu etengabe gure helburu nagusi gisa. Produktu berritzaileen eta zerbitzu tekniko osoen bidez, berme sendoa eskaintzen dugu zure erdieroaleen fabrikazio-prozesuetarako, azken finean ekoizpen-eraginkortasuna eta produktuaren errendimendua handituz.
Argitaratze data: 2025eko irailaren 8a