Erdieroaleen teknologiaren etengabeko garapenarekin, erdieroaleen industrian eta baita industria fotovoltaikoan ere, oblea-substratuaren edo xafla epitaxialaren gainazaleko kalitatearen eskakizunak ere oso zorrotzak dira. Beraz, zeintzuk dira obleen kalitate-eskakizunak? Hartuzzafiro obleaAdibidez, zer adierazle erabil daitezke obleten gainazalaren kalitatea ebaluatzeko?
Zeintzuk dira obleak ebaluatzeko adierazleak?
Hiru adierazleak
Zafirozko obleten ebaluazio-adierazleak hauek dira: lodiera osoaren desbideratzea (TTV), tolestura (Bow) eta deformazioa (Warp). Hiru parametro hauek batera siliziozko oblearen lautasuna eta lodiera-uniformetasuna islatzen dute, eta oblearen uhin-maila neur dezakete. Uhindura lautasunarekin konbina daiteke oblearen gainazalaren kalitatea ebaluatzeko.
Zer da TTV, BOW edo Warp?
TTV (Lodiera Aldaketa Osoa)
TTV oblea baten lodiera maximoaren eta minimoaren arteko aldea da. Parametro hau oblearen lodieraren uniformetasuna neurtzeko erabiltzen den indize garrantzitsua da. Erdieroaleen prozesu batean, oblearen lodiera oso uniformea izan behar da gainazal osoan. Neurketak normalean oblearen bost kokapenetan egiten dira eta aldea kalkulatzen da. Azken finean, balio hau oinarri garrantzitsua da oblearen kalitatea epaitzeko.
Arkua
Erdieroaleen fabrikazioan, arkua oblea baten tolesturari egiten dio erreferentzia, oblea finkatu gabeko erdigunearen eta erreferentzia-planoaren arteko distantzia askatzen duena. Hitza ziurrenik objektu batek tolestuta dagoenean duen formaren deskribapenetik dator, arku baten forma kurbatua bezala. Arkuaren balioa siliziozko oblearen erdigunearen eta ertzaren arteko desbideratzea neurtuz definitzen da. Balio hau normalean mikrometrotan (µm) adierazten da.
Deformazioa
Deformazioa obleen propietate global bat da, oblea libreki askatu baten erdialdearen eta erreferentzia-planoaren arteko gehienezko eta gutxieneko distantziaren arteko aldea neurtzen duena. Siliziozko oblearen gainazaletik planorainoko distantzia adierazten du.
Zein da TTV, Bow eta Warp arteko aldea?
TTV-k lodiera-aldaketetan jartzen du arreta eta ez du oblearen tolestura edo distortsioarekin zerikusirik.
Arkuak tolestura orokorrari erreparatzen dio, batez ere erdiko puntuaren eta ertzaren tolestura kontuan hartuta.
Deformazioa osoagoa da, oblearen gainazal osoaren tolestura eta bihurdura barne.
Hiru parametro hauek siliziozko oblearen formarekin eta propietate geometrikoekin erlazionatuta dauden arren, modu ezberdinean neurtzen eta deskribatzen dira, eta erdieroaleen prozesuan eta oblearen prozesamenduan duten eragina ere desberdina da.
Zenbat eta txikiagoak izan hiru parametroak, orduan eta hobeto, eta zenbat eta handiagoa izan parametroa, orduan eta handiagoa izango da eragin negatiboa erdieroaleen prozesuan. Beraz, erdieroaleen profesional gisa, konturatu behar dugu oblearen profilaren parametroen garrantziaz prozesu osoarentzat, erdieroaleen prozesua egiteko, xehetasunei erreparatu behar diegu.
(zentsura)
Argitaratze data: 2024ko ekainaren 24a