Erdieroaleen teknologiaren etengabeko garapenarekin, erdieroaleen industrian eta baita industria fotovoltaikoan ere, obleen substratuaren edo epitaxiaren xaflaren gainazaleko kalitatearen baldintzak oso zorrotzak dira.Beraz, zein dira obleen kalitate-baldintzak?Zafiro obleak adibide gisa hartuta, zer adierazle erabil daitezke obleen gainazaleko kalitatea ebaluatzeko?
Zeintzuk dira obleak ebaluatzeko adierazleak?
Hiru adierazleak
Zafiro-obleetarako, bere ebaluazio-adierazleak lodiera totalaren desbideratzea (TTV), bihurgunea (Bow) eta Warp (Warp) dira.Hiru parametro hauek batera silizio-oblearen lautasuna eta lodiera-uniformitatea islatzen dute, eta oblearen uhin-maila neur dezakete.Corrugation lautasunarekin konbina daiteke obleen gainazalaren kalitatea ebaluatzeko.
Zer da TTV, BOW, Warp?
TTV (Lodiera osoaren aldakuntza)
TTV oblea baten lodiera maximoaren eta minimoaren arteko aldea da.Parametro hau obleen lodieraren uniformetasuna neurtzeko erabiltzen den indize garrantzitsua da.Prozesu erdieroale batean, oblearen lodiera oso uniformea izan behar da gainazal osoan.Neurketak oblean bost tokitan egin ohi dira eta aldea kalkulatzen da.Azken batean, balio hori oblearen kalitatea epaitzeko oinarri garrantzitsua da.
Arkua
Erdieroaleen fabrikazioan arkua oblea baten bihurguneari egiten dio erreferentzia, estutu gabeko oblea baten erdiko puntuaren eta erreferentzia-planoaren arteko distantzia askatuz.Hitza tolestuta dagoenean objektu baten formaren deskribapenetik dator, ziurrenik, arku baten forma kurbatua bezala.Bow balioa silizio oblearen zentroaren eta ertzaren arteko desbideratzea neurtuz definitzen da.Balio hau mikrometrotan (µm) adierazten da.
Warp
Warp obleen propietate global bat da, libreki irekitako ostia baten erdialdearen eta erreferentzia-planoaren arteko distantzia maximoaren eta minimoaren arteko aldea neurtzen duena.Siliziozko oblearen gainazaletik planora dagoen distantzia adierazten du.
Zein da TTV, Bow, Warp arteko aldea?
TTV lodiera-aldaketetan zentratzen da eta ez da oblearen okertzeaz edo distortsioaz arduratzen.
Bow bihurgune orokorrean zentratzen da, batez ere erdiko puntuaren eta ertzaren bihurgunea kontuan hartuta.
Warp zabalagoa da, obleen gainazal osoa tolestu eta bihurrituz.
Hiru parametro hauek siliziozko oblearen forma eta propietate geometrikoekin erlazionatuta dauden arren, modu ezberdinean neurtu eta deskribatzen dira, eta erdieroaleen prozesuan eta obleen prozesamenduan duten eragina ere ezberdina da.
Hiru parametroak zenbat eta txikiagoak izan, orduan eta hobeto, eta parametroa zenbat eta handiagoa izan, orduan eta eragin negatiboa handiagoa izango da erdieroaleen prozesuan.Hori dela eta, erdieroaleen praktikatzaile gisa, obleen profilaren parametroen garrantziaz konturatu behar gara prozesu prozesu osorako, erdieroaleen prozesua egin, xehetasunei arreta jarri behar diegu.
(zentsura)
Argitalpenaren ordua: 2024-06-24