Silizio karburoaren substratua erdi-isolatzaile mota eta eroale motatan banatzen da. Gaur egun, silizio-karburozko substratu erdi isolatuen produktuen zehaztapen nagusia 4 hazbetekoa da. Silizio karburo eroaleko merkatuan, egungo substratu nagusiaren produktuaren zehaztapena 6 hazbetekoa da.
RF eremuan beherako aplikazioak direla eta, erdi isolatutako SiC substratuak eta material epitaxialak AEBetako Merkataritza Departamentuak esportazio-kontrolaren menpe daude. SiC erdi-isolatua substratu gisa GaN heteroepitaxirako material hobetsiena da eta aplikazio aukera garrantzitsuak ditu mikrouhinen eremuan. Zafiroaren % 14 eta Si % 16,9ko kristalen desadostasunarekin alderatuta, SiC eta GaN materialen kristalen desadostasuna % 3,4 baino ez da. SiC-ren eroankortasun termiko ultra-altukoarekin batera, berak prestatutako energia-eraginkortasun handiko LED eta GaN maiztasun handiko eta potentzia handiko mikrouhin-gailuek abantaila handiak dituzte radar, potentzia handiko mikrouhin-ekipoetan eta 5G komunikazio-sistemetan.
SiC substratu erdi isolatuaren ikerketa eta garapena beti izan da SiC kristal bakarreko substratuaren ikerketa eta garapenaren ardatza. SiC material erdi-isolatuak hazteko bi zailtasun nagusi daude:
1) Murriztu grafitozko arragoa, isolamendu termikoaren adsortzioa eta doping hautsean sartutako N emailearen ezpurutasunak;
2) Kristalaren kalitatea eta propietate elektrikoak bermatzen dituen bitartean, maila sakoneko zentro bat sartzen da maila txikiko hondar ezpurutasunak jarduera elektrikoarekin konpentsatzeko.
Gaur egun, erdi isolatutako SiC produkzio-gaitasuna duten fabrikatzaileak SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd dira batez ere.
SiC kristal eroalea hazten den atmosferara nitrogenoa injektatuz lortzen da. Silizio karburozko substratu eroalea potentzia-gailuen fabrikazioan erabiltzen da nagusiki, tentsio handiko, korronte handiko, tenperatura altuko, maiztasun handiko, galera baxuko eta beste abantaila paregabeko silizio-karburozko gailuen fabrikazioan, silizioan oinarritutako potentzia-gailuen energiaren erabilera asko hobetuko du. bihurketa-eraginkortasuna, eragin handia eta zabala du energia-eraldaketa eraginkorraren eremuan. Aplikazio-eremu nagusiak ibilgailu elektrikoak/kargatzeko pila, energia fotovoltaikoa, trenbide-garraioa, sare adimenduna eta abar dira. Produktu eroaleen azpian daudenez, batez ere ibilgailu elektrikoetan, fotovoltaikoetan eta beste alor batzuetan potentzia-gailuak direnez, aplikazioaren aukera zabalagoa da eta fabrikatzaileak ugariagoak dira.
Silizio karburozko kristal mota: 4H silizio karburo kristalino onenaren egitura tipikoa bi kategoriatan bana daiteke, bata esfalerita egitura kubikoko silizio karburozko kristal mota da, 3C-SiC edo β-SiC izenez ezagutzen dena, eta bestea hexagonala da. edo aldi handiko egituraren diamante-egitura, 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC-en ohikoa dena, etab., kolektiboki α-SiC izenez ezagutzen direnak. 3C-SiC-k erresistentzia handiko abantaila du fabrikazio gailuetan. Hala ere, Si eta SiC sareko konstanteen eta hedapen termikoaren koefizienteen arteko desadostasun handiak 3C-SiC geruza epitaxialean akats ugari sor ditzake. 4H-SiC-ak potentzial handia du MOSFETak fabrikatzeko, bere kristalen hazkuntza eta geruza epitaxialaren hazkuntza-prozesuak bikainagoak direlako, eta elektroien mugikortasunari dagokionez, 4H-SiC 3C-SiC eta 6H-SiC baino handiagoa da, mikrouhinen ezaugarri hobeak eskaintzen dituelako 4H-rako. -SiC MOSFETak.
Arau-hausterik badago, jarri harremanetan ezabatu
Argitalpenaren ordua: 2024-07-16